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XLR 700ix 激光器模块和系统

XLR 700ix

分类： 激光器模块和系统

厂家： Cymer

产地： 美国

型号： XLR 700ix

更新时间： 2024-04-19 14:40:59

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概述

基于 XLR 平台的循环环技术，700ix 在带宽、波长和能量稳定性方面都有所改进，为先进的芯片制造提供了更高的扫描仪吞吐量和工艺稳定性。 XLR 700ix 为芯片制造商提供了更严格的带宽控制（晶圆平均带宽为 300 +/- 5 fm），从根本上消除了带宽作为晶圆性能工艺变化源的问题。Cymer 的技术在逐个脉冲的基础上应用高速闭环控制，从而实现极其稳定的性能。

参数

  • 波长 / Wavelength : 193 nm
  • 功率 / Power : 60-90 W

详述

其他参数

ChamberDual Ring

Bandwidth ControlDynaPulse™

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厂家介绍

赛默公司是领先的准分子光源供应商，提供对当今半导体市场至关重要的深紫外（DUV）光刻光源。Cymer 光源以其高度窄化的带宽、更高的处理速度和可靠性而著称，是半导体行业实现当今先进半导体芯片批量生产的精确规格和制造要求的关键技术。

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