扩展的 270 - 3600 cm-1 光谱仪范围 高 NA、f/1.3 光学设计，具有出色的灵敏度和信噪比 可互换狭缝调节分辨率和灵敏度 (-IC) 免费操作软件和 SDK

250 - 1850 cm-1 光谱仪范围 高 NA、f/1.3 光学设计，具有出色的灵敏度和信噪比 可互换狭缝调节分辨率和灵敏度 免费操作软件和 SDK

250 - 1850 cm-1 光谱仪范围 高 NA、f/1.3 光学设计，提供卓越的灵敏度和信噪比 与其他紧凑型 InGaAs 光谱仪相比，信号和速度更胜一筹 免费操作软件和 SDK 了解我们的 OEM 就绪型 1064 光谱仪

我们为 OEM 开发的 WP 785 XM 光谱仪具有与标准产品相同的高灵敏度，而且结构更加紧凑、坚固耐用，并提供全面的工程支持。 基于专利 VPH 传输光栅的卓越光学设计 f/1.3 输入孔径实现高通量，覆盖拉曼指纹范围 可配置平台：仅光谱仪/集成激光器/激光器+接口光学器件 坚固耐用、热稳定的光学工作台确保了出色的单元间可重复性 包括 ENLIGHTEN™ 光谱软件和 SDK！

我们为 OEM 开发的 WP 830 XM 光谱仪具有与标准产品相同的高灵敏度，而且结构更加紧凑、坚固，并提供全面的工程支持。 基于专利 VPH 传输光栅的卓越光学设计 f/1.3 输入孔径实现高通量，覆盖拉曼指纹范围 可配置平台：仅光谱仪/集成激光器/激光器+接口光学器件 坚固耐用、热稳定的光学工作台确保了出色的单元间可重复性 包括 ENLIGHTEN™ 光谱软件和 SDK！

我们为 OEM 开发的 WP 1064 X 光谱仪具有与标准产品相同的高灵敏度，而且结构更加紧凑、坚固，并提供全面的工程支持。 基于专利 VPH 传输光栅的卓越光学设计 f/1.3 输入孔径实现高通量，覆盖拉曼指纹范围 可配置平台：仅光谱仪/集成激光器/激光器+接口光学器件 可选择探测器冷却级别，以平衡噪音水平、功耗和成本 坚固耐用、热稳定的光学工作台确保了出色的单元间可重复性 包括 ENLIGHTEN™ 光谱软件和 SDK！

我们的经济型分束器是其他等级分光器的高性价比替代品，适用于公差较低的应用，如照明、娱乐和会议的自动提示应用。 奈特光学的经济型分光器采用单层 TiO² 涂层，但第二面没有 AR 涂层。 分光器镀膜应用于钠钙浮法玻璃，因此在可见光谱下工作效率很高。 这些分光镜的表面质量低于其他类型，分光比随波长变化较大。 该系列可提供 900x730 毫米的大板。如果需要，我们还可以在单层 AR 涂层板材的背面直接涂覆分光器层。 这些大型经济型分光镜板材可在短时间内定制，以满足您的规格要求。

我们的经济型分束器是其他等级分光器的高性价比替代品，适用于公差较低的应用，如照明、娱乐和会议的自动提示应用。 奈特光学的经济型分光器采用单层 TiO² 涂层，但第二面没有 AR 涂层。 分光器镀膜应用于钠钙浮法玻璃，因此在可见光谱下工作效率很高。 这些分光镜的表面质量低于其他类型，分光比随波长变化较大。 该系列可提供 900x730 毫米的大板。如果需要，我们还可以在单层 AR 涂层板材的背面直接涂覆分光器层。 这些大型经济型分光镜板材可在短时间内定制，以满足您的规格要求。

精密级平板分束器具有更高的平面度和平行规格，尤其适用于激光和成像应用。这些精密分束器的两面都经过抛光，平面度高达 λ/4，表面质量极佳。精密分束器由高质量的光学抛光 BK7 制成，两个表面的平行度都很高。 我们库存的精密分光器可用于可见光、近红外和电信波长，分光比为 50/50。 分光器涂层为高质量电介质涂层，分束器的非分光面为多层抗反射涂层，以消除第二面鬼影效应。

精密级平板分束器具有更高的平面度和平行规格，尤其适用于激光和成像应用。这些精密分光镜的两面都经过抛光，平面度高达 λ/4，表面质量极佳。精密分束器由高质量的光学抛光 BK7 制成，两个表面的平行度都很高。 我们库存的精密分束器可用于可见光、近红外和电信波长，分光比为 50/50。 分束器涂层为高质量电介质涂层，分束器的非分光面为多层抗反射涂层，以消除第二面鬼影效应。

这些通用型板式分束器的使用角度为 45°。我们的平板分光镜可用于可见光、近红外和电信应用。我们备有用于可见光应用（如成像）的 50/50 板式分光镜和 70/30 板式分光镜，以及用于近红外应用（如医疗、激光应用和干涉仪）的 50/50 板式分光镜。 分束器多层介质涂层沉积在具有较好平整度和表面质量的标准白浮法玻璃上。所有通用级分束器的背面都有一层多层宽带抗反射涂层，以消除二次反射问题。 奈特光学的平板分光镜有 1 毫米和 3 毫米两种厚度。1 毫米厚的分光镜适用于对紧凑性和重量有要求的场合。所用的白色浮法玻璃可避免强烈的红外吸收，因此在近红外板式分束器中特别有用。

这些通用型板式分束器的使用角度为 45°。我们的平板分束器可用于可见光、近红外和电信应用。我们备有用于可见光应用（如成像）的 50/50 板式分光镜和 70/30 板式分束器，以及用于近红外应用（如医疗、激光应用和干涉仪）的 50/50 板式分光镜。 分束器多层介质涂层沉积在具有较好平整度和表面质量的标准白浮法玻璃上。所有通用级分束器的背面都有一层多层宽带抗反射涂层，以消除二次反射问题。 奈特光学的平板分束器有 1 毫米和 3 毫米两种厚度。1 毫米厚的分束器适用于对紧凑性和重量有要求的场合。所用的白色浮法玻璃可避免强烈的红外吸收，因此在近红外板式分光镜中特别有用。

这些火抛光非球面镜片是通过简单的模制过程制造的玻璃镜片，抛光时只需加热到足以熔化表面，让表面张力将缺陷磨平。与焦距相比，这些镜片的直径通常很大。火抛光非球面透镜具有较大的孔径，因此非常适合集光应用，如 LED 投影仪中的聚光透镜。 平凸透镜的第二个面经过光学抛光，质量更好。 奈特光学备有全系列热增韧非球面镜片和未增韧火抛光非球面镜片。

这些火抛光非球面镜片是通过简单的模制过程制造的玻璃镜片，抛光时只需加热到足以熔化表面，让表面张力将缺陷磨平。与焦距相比，这些镜片的直径通常很大。火抛光非球面透镜具有较大的孔径，因此非常适合集光应用，如 LED 投影仪中的聚光透镜。 平凸透镜的第二个面经过光学抛光，质量更好。 奈特光学备有全系列热增韧非球面镜片和未增韧火抛光非球面镜片。

XLR 900ix 引入了新的斑点减少技术，可将斑点对比度降低 30%，显著改善局部 CDU。它还提高了生产率，降低了拥有成本，使服务间隔时间延长了 25%，每年只需进行一次触摸。这得益于赛默公司经过现场测试的新型腔体和光学模块，这些模块已在 140 多套 XLR 系统中投入生产。该系统还采用了新的机器学习技术，通过减少校准和气体刷新事件来提高可用性，同时通过降低功耗和气体消耗来实现可持续发展。

基于 XLR 平台的循环环技术，700ix 在带宽、波长和能量稳定性方面都有所改进，为先进的芯片制造提供了更高的扫描仪吞吐量和工艺稳定性。 XLR 700ix 为芯片制造商提供了更严格的带宽控制（晶圆平均带宽为 300 +/- 5 fm），从根本上消除了带宽作为晶圆性能工艺变化源的问题。Cymer 的技术在逐个脉冲的基础上应用高速闭环控制，从而实现极其稳定的性能。

氩氦射线干式光刻技术在芯片制造过程中至关重要。ArF 干法光刻光源（如赛默公司的 XLA 105）可对晶片上的大量中间关键层进行图案化，同时延长模块寿命并加强关键尺寸 (CD) 控制。 随着 CD 的不断缩小，以及对最关键层更精细分辨率的需求，ArF 干光刻工具也开始对非关键层进行图案化，而这些非关键层历来是由 KrF 光源进行图案化的。赛默公司的干式光刻光源具有可靠性和成本效益，是大批量生产的理想选择。

先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律，技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE（Edge Placement Error）具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness)，为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%，减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件，将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性，为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。

世界各地的顶尖研发科学家都在使用 LightMachinery 准分子激光器。 IPEX-700 系列激光器专为工业和研发环境中的中等工作周期操作而设计，具有高功率紫外激光加工和最先进的性能。IPEX 激光器采用 LightMachinery 的 exciPure™ 专利技术，具有超长的气体寿命、卓越的光学稳定性和精确的激光操作参数控制。 性能提高 10 倍、功能强大、可靠、结构紧凑、操作简单 操作准分子激光器的最大成本是激光气体消耗量（也称为动态气体寿命*）。 凭借我们的 exciPure™ 专利技术，LightMachinery 的气体使用量比同类激光器提高了 10 倍。 这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。

IPEX 系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计，可提供高功率紫外激光加工，并具有先进的性能。 IPEX 激光器采用 LightMachinery 的 exciPure™ 技术，具有超长的气体寿命、卓越的光学稳定性和精确的激光器运行参数控制。 准分子激光器最大的运行成本是激光气体消耗量（也称为动态气体寿命*）。凭借exciPure™ 技术，LightMachinery 已将气体使用量提高到同类激光器的 10 倍。 这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。 安装在光学器件端口的 EasyClean 自动阀门可以密封激光器腔体，并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充。IPEX-800 激光器使用方便、维护简单、运行经济，将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和最长的正常运行时间相结合。