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波长: 193 nm 功率: 60-90 W
先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律,技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE(Edge Placement Error)具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness),为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%,减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件,将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性,为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。
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重量: 100-101 kg
LightMachinery的LaserMark 950和960系列激光器提供了一种快速、可靠的方法,用于在消费品包装和电子元件上打上高质量的永久性标记,例如日期和批次代码。这些脉冲 CO2 激光器可以在不到 1 微秒的时间内完成整个打标过程,因此可以 "即时 "完成打标,而不会出现其他类型的激光打标可能出现的标记涂抹或退化现象。 LaserMark 激光设备可以在多种材料上打标,包括涂有油墨的纸张和卡片、箔片、涂漆或阳极氧化金属、玻璃以及多种类型的塑料。LaserMark 系列产品在生产环境中操作简便,可靠性极高,正常运行时间长。固态 SSM 高压调制器和超低气体流量确保了最低的耗材和维护成本。LaserMark 960SSM 系列密封符合 NEMA 12 标准,适用于一般用途。对于要求更高的操作,950SSM 系列符合 NEMA 4 标准,可直接使用高压软管。