通过微纳结构实现表面功能化不仅是受仿生学启发而蓬勃发展的研究领域,而且对各种实际应用也具有重要意义。实现各种表面功能的关键是制造尺寸、层次和成分可控的表面微纳结构,这是推动微纳制造技术不断进步的关键。
概述
参数
- 混合气体 / Gas Mixture : ArF, KrF
- 波长 / Wavelength : 193 nm, 248 nm
- 脉冲能源 / Pulse Energy : 100mJ
- 平均功率 / Average Power : 5W
- 最大重复率 / Max Repetition Rate : 50Hz
- 脉宽 / Pulse Duration : 20ns
规格书
厂家介绍
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