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  准分子腔输出耦合器（XOC）

  美国

  分类：光学反射镜

  厂商：Lambda Research Optics

  通光孔径: > 85% of diameter 厚度公差: < ± 0.25 mm 基底/材料: UV grade MgF₂ UV grade CaF₂ 表面质量: < 20 / 10 直径公差: < + 0.00 / – 0.20 mm

  输出波长为193nm、248nm和308nm的激光器为准分子激光器。这些波长可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。在这些波长下，建议使用氟化钙或氟化镁基板作为腔内透射光学元件。用户可指定输出耦合器的反射率。请注意，Lambda 的高质量准分子激光器腔体涂层专为耐酸/氟而设计。

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  准分子腔后视镜（XRM）

  美国

  分类：光学反射镜

  厂商：Lambda Research Optics

  通光孔径: > 85% of diameter 厚度公差: < ± 0.25 mm 基底/材料: UV Grade CaF2, MgF2 表面质量: < 20 / 10 直径公差: < + 0.00 / – 0.20 mm

  有193纳米、248纳米和308纳米准分子激光器。这些波长可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。在这些波长下，建议使用氟化钙或氟化镁基板作为腔内透射光学元件。后腔反射镜在激光波长下的反射率至少为99.5%。请注意，Lambda 的高质量准分子激光器腔体涂层是专为耐酸/氟而设计的。