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重量: 130 kg 接口: Reference sphere with bayonet interface 应用: 球体的非接触式测试和测量
标准设置,干涉仪模块位于花岗岩工作台底部,与Z轴对齐 - 测量球形部件的理想工具。 多种选件使这些测量设备能够适应不同的测量任务。 - 微型光学元件的测量范围可达直径60mm。 - 设计紧凑,可用于生产 安装在减震花岗岩台面上。带4个减震元件的被动减震系统。 全面的模块化系统允许所有轴的配置,在轴承(摩擦或交叉滚柱轴承)和通过滚珠丝杠主轴的工作台驱动(手动或电动)方面,可根据具体应用进行理想的定制。 OptoTech干涉仪模块 检查微型EL-F数字式,带60毫米扩束器 使用高质量的OptoTech 60mm基准球测量微光学元件,测量精度为 λ/20 - 集成数字位置传感器(海德汉线性光栅尺),分辨率为 1µm,用于测量测试半径。
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重量: 2500 kg 应用: 多功能缝合干涉仪
新型多功能缝合干涉仪MSI 300专为测试直径达300毫米的高孔径球体而设计。可选配最大300毫米的平面光学测量仪 刚性花岗岩底座和无源空气轴承 Z轴调整中的高精度半径滑块 MAHR MarOpto FI 1100 Z干涉仪模块 带X/Y轴十字滑台的反向设计干涉仪模块 高分辨率旋转轴(B轴),用于在光路中定位高孔径球体 直接驱动旋转轴(C轴),用于旋转光路中的高孔径球和可选平面 标准工件夹头HD-40(可选配其他夹头) OptoTech Inspect Mini EL-F数字式4 "菲佐干涉仪模块(其它模块可根据要求提供) 设计紧凑,集成PC工作区 操作 传统(手动)或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制