Cavitar 的 CAVILUX Smart UHS 是一种坚固耐用的脉冲二极管激光光源，具有极短的脉冲和极高的重复率。它非常适用于高达 10 MHz 的超高速相机。 CAVILUX Smart UHS 能够产生高达数百瓦的脉冲光功率，脉冲时间最短可达 10 毫微秒。通常情况下，光输出是单色的，相干性较低。这一特性使 CAVILUX Smart UHS 适用于照明目的，因为不会出现斑点或色差。

CAVILUX Smart 是一种坚固耐用的多功能脉冲二极管激光光源。它非常适用于机器视觉和高速相机，既适用于工业领域，也适用于科学研发领域。 CAVILUX Smart 光源可产生数百瓦的脉冲光功率。光输出通常是单色的，相干性较低。这使得 CAVILUX Smart 适合用于照明目的，因为它不会产生斑点或色差。 CAVILUX Smart 还能产生脉冲串或随机脉冲，每个脉冲的长度和脉冲之间的延迟时间都可精确调节。

CAVILUX HF 是一种坚固耐用、用途广泛的高性能脉冲二极管激光光源，非常适合高速相机。它也是工业和科学研究与开发工作的多功能优秀工具。 材料测试、焊接、弹道和爆炸以及流动和喷雾研究都是 CAVILUX HF 的标准应用实例。该光源可与阴影成像和 Schlieren 光学解决方案配合使用。 CAVILUX HF 的最大占空比很高（2%），因此帧频可达每秒几十万帧（fps）。

Photon 等公司的可调激光源 (TLS) 结合了超连续光源（宽带光）和广泛的激光线可调滤波器 (LLTF)。TLS 采用独特的光学滤波技术，具有卓越的带外抑制能力。这项技术对于开发尖端光谱技术中使用的可调谐激发光源至关重要，因为这些技术对光谱纯度要求极高。此外，这种多功能工具还是表征光学和光电设备光谱响应的理想工具。

氩氦射线干式光刻技术在芯片制造过程中至关重要。ArF 干法光刻光源（如赛默公司的 XLA 105）可对晶片上的大量中间关键层进行图案化，同时延长模块寿命并加强关键尺寸 (CD) 控制。 随着 CD 的不断缩小，以及对最关键层更精细分辨率的需求，ArF 干光刻工具也开始对非关键层进行图案化，而这些非关键层历来是由 KrF 光源进行图案化的。赛默公司的干式光刻光源具有可靠性和成本效益，是大批量生产的理想选择。

先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律，技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE（Edge Placement Error）具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness)，为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%，减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件，将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性，为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。

GT45A是一款基于先进的ArF浸没式光刻光源GT65A平台，具备高功能扩展性的机型。 通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术，可以在提高生产率的同时，减轻环境负荷。 通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、最高可达90W的高输出功率，满足客户的多样化需求。

GT45A是一款基于先进的ArF浸没式光刻光源GT65A平台，具备高功能扩展性的机型。 通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术，可以在提高生产率的同时，减轻环境负荷。 通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、最高可达90W的高输出功率，满足客户的多样化需求。

KrF激光器“G300K”是加入GIGANEX产品阵容的一款新机型，它将微细等“加工优化”作为理念，在保持高输出、99%以上高开工率的同时，实现了客户ROI的最大化的型号。“G300K”采用累计出货量达900多台的本公司半导体光刻用KrF光源G41K作为基本平台，新开发并搭载了适合高输出的电源、激光腔室。从而为客户在半导体制造后端工序中下一代微细加工工序，通过提高生产性及减少COO以实现ROI的最大化提供帮助。

KrF光刻光源G60K以继承Gigaphoton多年技术和积累经验的KrF光源技术为基础，支持超过300片/h的光刻机处理速度，通过输出功率达到以往产品的150%，并将模块寿命延长到最高200%，为改善可用性提供帮助。G60K还兼具扩展性，通过新开发的电源和模块来支持未来高输出、高频率等性能改进，满足对未来KrF曝光技术的要求。还标配无氦技术，有助于减少气体的消耗量。

MLase 现代化的紧凑型 MLI 准分子激光器是波长为 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脉冲能量高达 16 mJ，脉冲重复频率高达 1,000 Hz。 它们是市场上使用寿命长、可靠性高、运行成本低的独立设备。其均匀的钢型和能量稳定性使其非常适合要求苛刻的应用。 此外，我们的 LC 准分子激光系统还能主动水冷却（使用生活用水或外部热交换器；无需纯净水），以实现稳定的连续运行。

MLase 现代化的紧凑型 MLI 准分子激光器是波长为 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脉冲能量高达 16 mJ，脉冲重复频率高达 1,000 Hz。 它们是市场上使用寿命长、可靠性高、运行成本低的独立设备。其均匀的钢型和能量稳定性使其非常适合要求苛刻的应用。 此外，我们的 LC 准分子激光系统还能主动水冷却（使用生活用水或外部热交换器；无需纯净水），以实现稳定的连续运行。

配有标准光源，可提供高照度白光 LED 和红外发光二极管。 它可以测试红外摄像机和镜头，还可以选择红外发光二极管的波长。 采用数字恒流控制方法，因此不会闪烁。 由于标准光源的高度均匀性，无需图表即可测试阴影。

标准光源提供不同的固定色温、 它能表现多种色温和色坐标。 采用数字恒流控制方式，因此不会闪烁。 由于标准光源的高度均匀性，无需图表即可测试阴影。

配有标准光源，可提供高照度白光 LED 和红外发光二极管。 它可以测试红外摄像机和镜头，还可以选择红外发光二极管的波长。 采用数字恒流控制方法，因此不会闪烁。 由于标准光源的高度均匀性，无需图表即可测试阴影。

ErFemto Pro是一款红外波段的全光纤飞秒激光器，典型输出波长为1560nm，重复频率80MHz，脉冲宽度小于150fs，最大输出功率可提供500mW、1.0W、1.5W、2.0W四种功率等级。该光源基于高稳定光纤种子源、全自动锁模脉冲技术，低噪声级联光纤放大、非线性与色散精致管理等核心技术。该产品具有极高的可靠性和稳定性，适合多种科学研究和工业应用。

ErFemto-780 Elite是一款模块化的近红外光纤飞秒激光器，典型输出波长为780nm，脉冲宽度小于100fs，光谱宽度大于 9nm ，重复频率80MHz。该光源基于全自动锁模脉冲、低非线性低噪声光纤放大、高精度色散补偿、高效率频率变换技术，实现了激光器光机电的小型化一体化设计，具有极高的可靠性和稳定性。另外，朗研光电同款激光器还支持780/1560nm双波长同步输出功能， 重复频率在10-100MHz范围可选，满足多种应用场景需求。

ErFemto-780 Pro是一款近红外波段的全光纤飞秒激光器，采用掺铒光纤激光器结合非线性晶体倍频而成。输出波长为780nm，脉冲宽度150fs，重复频率80MHz，输出功率200mW、500mW、800mW、1.0W多档可选。该光源基于高稳定光纤种子源、全自动锁模脉冲技术，低噪声级联光纤放大、非线性与色散精致管理，具有极高的可靠性和稳定性，适合多种科学研究和工业应用，可满足系统集成应用需求。

朗研光电全新一代异步采样飞秒光纤激光器XFiber ASOPS (Asynchronous Optical Sampling System)，是基于Elite工业化激光器产品线打造，具有小型化、高稳定的特点。该激光器以全保偏光纤为光学链路，可提供高可靠的锁模脉冲运转；采用高速FPGA数据处理实现对梳齿频率的实时显示和监测；通过多级温控管理及主动温度补偿克服外部扰动，实现长期连续稳定运行，适应多种环境。当以铷原子钟为射频参考频率时，重频锁定为mHz量级。该产品具有极高的稳定度和集成度，可应用于分子光谱学、THz异步采样、双光梳测距、精密测量、时间频率传递等众多科研领域，是科学研究和仪器开发的理想光源。

YbFemto ProH是一款近红外全光纤飞秒激光器，典型输出波长为1030nm或1064nm，最短脉冲宽度150fs，重复频率40MHz，最大输出功率8W。该光源基于高稳定光纤种子源、全自动锁模脉冲技术低噪声级联光纤放大、非线性与色散精致管理。可调速风冷技术，免去了水冷烦扰。该产品具有极高的可靠性和稳定性，适合多种科学研究和工业应用，可满足系统集成应用需求，性价比高。