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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新车型GT63A是第五代车型,采用相同的注塑锁定平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在响应客户的需求,创造额外的价值:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进个客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;GT63A以其设计理念和高可靠性享誉全球,GT63A与之前的GT系列车型在同一平台上设计,以尽可能多地使用通用部件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT63A是第五代型号,采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在满足客户创造额外价值的需求:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同,以便使用尽可能多的通用组件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。
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材料: BK7, Fused Silica 表面质量: 20-10 scratch-dig 表面平整度: Lambda/10 屋顶角度公差: Not Specified
除了我们的光学成像能力,格利还以首屈一指的价格提供各种高质量的光学材料和光学元件。GPI有能力提供标准、精密和定制设计的组件,这些组件可由熔融石英、石英晶体、光学晶体、丙烯酸树脂和金属制成。凭借在光学行业50多年的经验,GPI拥有您完成工作所需的知识、奉献精神和服务。格利的光学部门旨在为许多不同类型的光学元件提供较低成本、高质量的选择。通过美国、欧洲和亚洲的制造,我们能够以市场上较高的质量和较低的价格制造定制零件以及复制现成的零件。
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镜头类型: Positive 材料: H-K9L 尺寸: 20mm 焦距: 50mm
平凸柱面透镜非常适合需要一维放大的应用。当球面透镜在两个维度上对称地作用于入射光线时,柱面透镜以相同的方式作用,但仅在一个维度上作用。典型的应用是使用一对柱面透镜来提供光束的变形整形。一对正柱面透镜可用于准直和圆化激光二极管的输出。另一种可能的应用是使用单个透镜将发散光束聚焦到检测器阵列上。为了较大限度地减少球面像差的引入,当将准直光聚焦成线时,准直光应入射在曲面上,而当准直时,来自线光源的光应入射在普莱诺表面上。F=R/(n-1),其中n是折射率,R1,R2是透镜每个表面的曲率半径。它们也可以涂有MgF2以保护表面,或者涂有AR涂层以增加透射率。