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重量: 2500 kg 应用: 多功能缝合干涉仪
新型多功能缝合干涉仪MSI 300专为测试直径达300毫米的高孔径球体而设计。可选配最大300毫米的平面光学测量仪 刚性花岗岩底座和无源空气轴承 Z轴调整中的高精度半径滑块 MAHR MarOpto FI 1100 Z干涉仪模块 带X/Y轴十字滑台的反向设计干涉仪模块 高分辨率旋转轴(B轴),用于在光路中定位高孔径球体 直接驱动旋转轴(C轴),用于旋转光路中的高孔径球和可选平面 标准工件夹头HD-40(可选配其他夹头) OptoTech Inspect Mini EL-F数字式4 "菲佐干涉仪模块(其它模块可根据要求提供) 设计紧凑,集成PC工作区 操作 传统(手动)或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制