硅晶圆厚度传感器

分类：激光器模块和系统

厂家： Alnair Labs Corp

产地：日本

型号： Silicon wafer thickness sensor

更新时间： 2024-12-10 13:57:53

标签：

激光技术光电传感器硅晶圆厚度测量非接触式

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概述

全光学非接触式硅晶圆厚度传感器，具有高动态范围，能够测量无序表面，并支持湿刻过程中的原位测量。

参数

测量目标 / Measurement Target : 硅晶圆
晶圆厚度 / Wafer Thickness : 实时测量
可测厚度范围 / Measurable Thickness : 10~500 μm
激光源波长范围 / Wavelength Swept Laser Source : 1515~1585 nm
光输出功率 / Optical Output Power : 0.6 mW
引导光源 / Guiding Light Source : 红色LD
测量时间 / Measurement Time : 20 ms
可重复性 / Repeatability : 小于0.1 (3σ) μm
监测输出 / Monitor Output : 干涉信号（电信号）
PC接口 / PC Interface : 以太网
电源 / Power Supply : AC 100-240 (50 / 60 Hz) V
尺寸 / Dimension : 364 x 147 x 391 mm
重量 / Weight : 9.0 kg

应用

1. 湿刻过程中的实时监测 2. 硅晶圆厚度测量

特征

1. 非接触式测量 2. 高动态范围 3. 快速测量时间 4. 适用于复杂表面

详述

硅晶圆厚度传感器是一款先进的全光学非接触式测量设备，能够精确地测量硅晶圆的厚度。其高动态范围使得它能够处理复杂的无序表面，并在湿刻过程中进行原位实时监测，确保生产过程的高效与精确。该传感器采用波长扫激光源，具有快速的测量时间（仅需20毫秒），并保证了高重复性（小于0.1 μm）。设备的设计考虑了现代半导体制造的需求，能够轻松与PC接口连接，方便数据的实时传输与分析。无论是在研发还是生产过程中，硅晶圆厚度传感器都能提供可靠的支持，帮助工程师和技术人员提高工作效率，确保产品质量。

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厂家介绍

Alnair实验室公司成立于2001年8月29日，是东京大学首批以商业光子学技术为目标的风险公司之一。目前，Alnair Labs是基于专有碳纳米管光子技术的超短脉冲激光系统和解决方案的领先制造商。我们的产品包括皮秒光学采样示波器、带宽可变和波长可调的光学带通滤波器、快速色散测量系统、保偏皮秒和飞秒光纤激光器、高灵敏度免对准自相关器、短脉冲光放大器、可调色散补偿器、可调光纤光栅滤波器、激光测距仪和工业三维轮廓测量系统。我们较近还扩展了产品线，涵盖10/25/40Gb/s误码率测试仪和各种高速射频子系统和解决方案。作为我们业务的关键部分，我们一直是定制光子解决方案的领先供应商之一，涵盖激光和光学放大器系统、微型光学模块和特殊要求的光学组件。我们不断努力在我们的潜在客户和现有客户之间建立顺畅的沟通。这将确保我们为所有尊贵的客户提供高质量和满意的产品和服务。如果我们能为您提供任何服务，请随时与我们联系。

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