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EX5 激光器模块和系统

EX5

分类： 激光器模块和系统

厂家： GAM Laser Inc.

产地： 美国

型号： EX5

更新时间： 2024-06-25 16:20:00

简介：

6W of deep UV (193nm) in 1.4 cubic feet, 15kg

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概述

来自GAM激光器的EX5是波长为157、193、248、308、351nm的激光器，功率为0.4至0.65W、2.5至5W、4至8W、1.4至2.5W、1.3至2.4W（F2、ARF、KrF、XeCl、XeF），输出功率（脉冲）为0.4至0.65W、2.5至5W，1.3至2.4W（F2、ARF、KrF、XeCl、XeF），脉冲能量1.5、12、20、8、6mJ（F2、ARF、KrF、XeCl、XeF）。EX5的更多细节可以在下面看到。

参数

  • 类型 / Type : Laser System
  • 技术 / Technology : Excimer Laser, Gas Laser
  • 工作模式 / Operation Mode : Pulsed Laser
  • 超快激光 / Ultrafast Laser : Nanosecond Lasers
  • 可调谐 / Tunable : No
  • 激光颜色 / Laser Color : Ultraviolet
  • 增益介质类型 / Gain Medium Type : Gas
  • 激光增益介质 / Laser Gain Medium : F2, ArF, KrF, XeCl, XeF
  • 应用行业 / Application Industry : Semiconductors & Microelectronics, Medical, Scientific

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厂家介绍

GAM Laser，Inc.制造全金属/陶瓷准分子激光器。


位于佛罗里达州的GAM Laser，股份有限公司是一家用于科学、工业、医疗和OEM应用的脉冲准分子激光器制造商。该公司生产的单盒全金属/陶瓷准分子激光器可靠性高、价格合理、结构紧凑、气体寿命较长。GAM准分子产品的独特线性设计允许以低增量成本进行功率缩放，这意味着脉冲UV输出可以在不同型号中实现，从几mJ到200mJ，重复频率从1Hz到2kHz。

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