传统上，高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用，形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而，传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性，如干涉光刻。
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YCOB非线性晶体
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概述
非线性晶体YCOB（YCa4O（BO3）3，氧硼酸钇钙）被认为是一种很有前途的紫外波段光学倍频器材料与YCOB相关的较新技术成果之一是通过二极管阵列端面泵浦Nd：YVO4激光器（P=5.6W）的腔内倍频，在1.2cm长的晶体（θ=64.5°，φ=35.5°）中产生了2.35W的连续绿光输出（λ=532nm）。另一个类似的应用是NdYVO4激光辐射的THG。使用KTP倍频晶体和1.1cm长的YCOB晶体（θ=106，φ=77.2），作者成功地获得了124mW的355nm准连续光（脉冲重复频率20kHz）。YCOB晶体是应用较广泛的非线性光学晶体之一。其非线性光学系数与BBO晶体和LBO晶体的非线性光学系数相当。二阶和三阶有效倍频系数分别达到KDP的2，8倍和1，4倍。YCOB晶体具有以下优点：大口径，飞秒范围内高损伤强度，约2000-2500GW/cm2，宽的允许角度范围和允许温度范围，小的色散角，较短的提拉法生长周期，同时具有稳定的物理化学性能（不潮解）和良好的加工性能。被认为具有良好的蓝绿光和紫外波段光学倍频晶体应用前景。
参数
- 水晶类型 / Crystal Type : BBO (Beta Barium Borate)
- 相位测量类型 / Phase Mathcing Type : Not Applicable
- 安装 / Mounting : Unmounted
- 宽度 / Width : 18mm
- 高度 / Height : 18mm
- 长度 / Length : 2mm
- 平整度 / Flatness : <= Lambda/10
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig) : 20-10
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厂家介绍
Crylink的生产部门由中国科学院上海光学精密机械研究所（SIOM）的原始晶体材料部组成。1989年独立于SIOM，加入上海大恒光学精密机械有限公司生产部门，由SIOM全面控股。2014年，上海大恒生产部部分人员独立出来，成立了Crylink公司。
相关产品
图片
名称
分类
制造商
参数
描述
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3photon - BBO（硼酸钡晶体）
晶体
3photon
水晶类型: BBO (Beta Barium Borate) 相位测量类型: Type I, Type II, Not Applicable 安装: Mounted, Unmounted
钡硼酸盐（BBO或BaB2O4）具有两相：α相-高温相β相-低温相β-硼酸钡（BBO）与α-硼酸钡的区别在于钡离子在晶体中的位置。虽然α-BBO相和β-BBO相都是双折射的，但α-BBO具有中心对称性，因此与β-BBO相相比具有不同的非线性性质。β-硼酸钡（BBO）是一种非线性光学（NLO）晶体，具有一系列特性：对于紫外（UV）具有大的非线性系数、高的损伤阈值、宽的相位匹配、对于超快应用具有低的GDD以及宽的透明范围。BBO晶体是较好的电光（E-O）晶体和较好非线性光学（NLO）晶体之一，它们广泛用于较流行的激光器和光学参量振荡器（OPO）中的二次-五次谐波，主要（但不限于）Ti：蓝宝石、Yb：KGW/KYW激光系统、Pockel电池和其他应用
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3photon - LBO（三硼酸锂晶体）。
晶体
3photon
水晶类型: LBO (Lithium Triborate) 相位测量类型: Type I, Type II, Not Applicable 安装: Mounted, Unmounted
由于高损伤阈值，宽透明范围的三硼酸锂（LBO）主要用于二次谐波产生（SHG），也称为倍频和三次谐波产生（THG）。晶体可以被加热以保护或稳定性能，然后它们可以用于高功率应用。3光子的主要优势是高损伤阈值10 J/cm²@355 nm（对于单波段）的AR涂层LBO晶体，这使得在非常高的强度下具有高转换效率的优异性能。
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GB集团的AgGaS2和AgGaSe2晶体
晶体
GB group, Inc.
水晶类型: AgGaSe2 (Silver Gallium Selenide), AgGaS2 (Silver Gallium Sulfide) 相位测量类型: Not Applicable 安装: Unmounted
银硫化镓（AgGaS2）和银亚硒酸镓（AgGaSe2）晶体由于其在中红外和深红外区域具有大的非线性光学（NLO）系数和高透射率而在中红外和深红外（IR）应用中引起了特别的兴趣。AgGaS2的相位匹配和透射特性允许在中红外和近红外波段发生三波相互作用，AgGaS2已被用作3-10 mm红外输出的有效非线性光学晶体，特别适用于Nd：YAG激光泵浦的OPO器件，钛宝石或Nd：YAG激光泵浦的OPO输出的混频，以及染料和钛宝石或其他激光光源与Nd：YAG激光器的混频。AgGaS2也被证明是一种有效的红外辐射倍频晶体，如CO2激光器的10.6mm输出。
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联合晶体公司的AgGaS2和AgGaSe2晶体和器件
晶体
United Crystals Inc.
水晶类型: AgGaSe2 (Silver Gallium Selenide), AgGaS2 (Silver Gallium Sulfide) 相位测量类型: Type I 安装: Mounted, Unmounted
AgGaS2和AgGaSe2是市场上仅有的非线性光学晶体，可用于红外范围内的谐波产生和OPO，特别是用于CO2激光器。
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AgGaS2晶体
晶体
BoJen Optics, Inc.
水晶类型: AgGaS2 (Silver Gallium Sulfide) 相位测量类型: Type I 安装: Unmounted
AgGaS2（AGS）晶体在0.50-13.2μm范围内是透明的。在Nd：YAG激光泵浦的OPO中，利用AGS晶体在550nm处的高短波长透过率边缘；在大量的DIOD差频混频实验中；覆盖3-12um范围的钛宝石、Nd：YAG和红外染料激光器；用于直接红外对抗系统；AGS晶体也是CO2激光器SHG的一种选择。薄的AgGaS2（AGS）晶体板在通过使用近红外波长脉冲的差频产生中红外范围的超短脉冲产生中很受欢迎。AGS尺寸：标准外尺寸：8x8mm和5x5mm，厚度为1.0-30.0mm
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