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FilmTek 2000 PAR 光谱仪

FilmTek 2000 PAR

分类: 光谱仪

厂家: Scientific Computing International

产地: 美国

更新时间: 2024-08-27 22:17:08

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概述

FilmTek™2000 PAR是一种低成本解决方案,用于开发和生产环境中的高通量、全自动图案化晶圆映射。该系统将获得专利的DUV-NIR反射计与晶圆自动加载器和模式识别相结合,在此价位上提供无与伦比的计量性能。FilmTek™2000 PAR采用SCI的专利抛物面镜技术,可测量从深紫外到近红外的波长,光斑尺寸小至13µm。该系统配备先进的材料建模软件,即使是较严格的测量任务也能实现可靠和直观。FilmTek™软件包括完全用户可定制的晶圆映射功能,可快速生成任何测量参数的2D和3D数据图。除了用户定义的模式外,标准映射模式还包括极坐标、X-Y、Rθ或线性。FilmTek™2000 PAR将SCI的广义材料模型与先进的全局优化算法相结合,可在每个站点1秒内同时确定多个薄膜特性。

参数

  • 波长范围 / Wavelength Range (reflectance) : 190 - 1700 nm
  • 决议 / Resolution : 0.3-2nm
  • 最短扫描时间 / Minimum Scan Time : 0.2sec

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