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光谱范围: 250 - 1700 nm 光谱分辨率: 1000nm 入射角: 1 - 1 deg
纳米薄膜_EP4BAM是EP4成像椭偏平台的一种特殊配置。是一种理想的薄膜成像系统,可升级为成像椭偏仪。这是一个完全无需动手的计算机控制系统,使用专有的电机控制电路。Nanofilm_EP4BAM可直接在显示器上显示样品的实时图像,并具有重要的图像处理功能。物镜扫描仪为整体聚焦图像提供了扩展的景深。高功率绿色激光器和出色的物镜相结合,可实现1微米的横向分辨率,这是目前CCD光学探测器的极限。强大的软件使操作变得简单方便。作为一个完整的解决方案,该系统包括计算机、电子设备和所有必要的软件,用于在您现有的槽上或使用我们的集成槽之一开始测量。水槽是一个单独的项目,不包括在标准中。
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光谱范围: 450 - 900 nm 光谱分辨率: 1000nm 入射角: 1 - 1 deg
Nanofilm_RSE是一种特殊类型的椭偏仪,它将样品与参考进行比较。以这种方式,可以测量样品和参考之间的椭圆偏振差。由于参考的取向,在测量过程中不需要移动或调制任何光学元件,并且可以在单次测量中获得完整的高分辨率光谱。通过这种方式,每秒可获得100个光谱。同步X-Y平台能够在几分钟内采集大视场薄膜厚度图。参考光谱椭偏仪将椭偏仪的高灵敏度和层厚区域(0.1nm-10µm)与市场上可用的较高速度相结合。与激光椭偏仪相比,它包括450和900nm之间的光谱信息。这在处理层的一个以上参数是可变的情况下是重要的,例如厚度和光密度。