FilmTek™2000 PAR-SE组合计量生产线是我们较先进的台式计量解决方案，具有业内较高的准确度、精度和多功能性。FilmTek™2000 PAR-SE的设计旨在满足从研发到生产的几乎所有先进薄膜测量应用的需求。FilmTek™2000 PAR-SE结合了光谱椭圆偏振法和DUV多角度偏振反射法，具有宽光谱范围，可满足较具挑战性的测量需求。SCI的专利抛物面镜技术可实现低至50µm的小光斑尺寸，非常适合直接测量产品晶圆和图案化薄膜。FilmTek™2000 PAR-SE结合了专利多角度差分偏振（MADP）和差分功率谱密度（DPSD）技术，利用多角度偏振光谱反射计独立测量薄膜厚度和折射率。通过独立测量折射率和厚度，FilmTek™2000 PAR-SE对薄膜（尤其是多层堆叠中的薄膜）的变化比依赖于传统椭圆偏振或反射测量技术的现有计量工具更加敏感。FilmTek™2000 PAR-SE是一个完全集成的软件包，配有先进的材料建模软件，即使是较严格的测量任务也能可靠和直观地完成。硬件和软件都可以轻松修改，以满足客户的独特需求。

FilmTek™2000 SE台式计量系统具有无与伦比的测量性能、多功能性和速度，适用于无图案的薄膜到厚膜应用。它非常适合学术和研发环境。FilmTek™2000 SE结合了光谱椭圆偏振法和DUV多角度偏振反射法，可同时测量薄膜厚度、折射率和消光系数。我们先进的旋转补偿器设计可在整个Δ（Δ）范围内实现精度和准确度，包括接近0°和180°。当无法在布鲁斯特条件附近进行测量时，这可以实现较佳性能，这对于硅或玻璃衬底上非常薄的薄膜的精确测量是必不可少的。数千个波长可在几秒钟内同时收集，集成的自动对焦功能消除了同类椭偏仪所需的手动样品对准的繁琐任务。FilmTek™2000 SE是一个完全集成的封装，配有直观的材料建模软件，即使是较苛刻的测量任务也能简单可靠地完成。FilmTek™软件包括完全用户可定制的样本映射功能，可快速生成任何测量参数的2D和3D数据图。除了用户定义的图案外，标准贴图图案还包括极坐标、X-Y、Rθ或线性。

新一代显微薄膜、表面和材料计量工具采用自动归零椭圆偏振术和显微镜相结合的方法，能够以小至1微米的横向分辨率进行表面表征。这能够分辨比大多数非成像椭偏仪小1000倍的样品区域，即使它们使用微点光谱选项。Nanofilm_EP4使用各种独特的功能，允许实时可视化您的表面。您将在微观尺度上看到样品的结构，并测量厚度、折射率和吸收等参数。可以记录选定区域的3D剖面图。与AFM、QCM-D、反射计、拉曼光谱等其他技术的仪器组合有可能从您的样品中获得更多信息。

Nanofilm_RSE是一种特殊类型的椭偏仪，它将样品与参考进行比较。以这种方式，可以测量样品和参考之间的椭圆偏振差。由于参考的取向，在测量过程中不需要移动或调制任何光学元件，并且可以在单次测量中获得完整的高分辨率光谱。通过这种方式，每秒可获得100个光谱。同步X-Y平台能够在几分钟内采集大视场薄膜厚度图。参考光谱椭偏仪将椭偏仪的高灵敏度和层厚区域（0.1nm-10µm）与市场上可用的较高速度相结合。与激光椭偏仪相比，它包括450和900nm之间的光谱信息。这在处理层的一个以上参数是可变的情况下是重要的，例如厚度和光密度。

波片是一种光学器件，可以改变通过它的光波的偏振状态。两种常见类型的波片是半波片和四分之一波片，半波片改变线性偏振光的偏振方向，四分之一波片将线性偏振光转换为圆偏振光，反之亦然。四分之一波片也可用于产生椭圆偏振。

四分之一波片用于将线偏振光束转换为圆偏振光束（反之亦然）。四分之一波片的结构是这样的，即由标记线表示的快轴位于与输入偏振成45°的表面中。输入光束被分解为两个振幅相等但速度不同的分量。四分之一波片的应用包括从线性偏振产生圆偏振或从圆偏振产生线性偏振、椭圆偏振、光泵浦、抑制不想要的反射（当与偏振器结合使用时）和光隔离（当与偏振分束器立方体一起使用时）。半波片的厚度使得相位差为V（零级）或3V、5V、7V等（多级）。入射到半波片上的线偏振光束作为线偏振光束出射，但被旋转使得其与光轴的角度是入射光束的两倍。通常使快轴位于与输入偏振成45°的延迟器的表面中。因此，半波片引入了偏振面的90°旋转，伊林零级波片是优选的波片类型。它们对温度、波长、入射角或准直的变化不敏感。15nm的波长偏移将导致大约1%的延迟变化。它们以25.4 nm安装方式提供。

四分之一波片用于将线偏振光束转换为圆偏振光束（反之亦然）。四分之一波片的结构是这样的，即由标记线表示的快轴位于与输入偏振成45°的表面中。输入光束被分解为两个振幅相等但速度不同的分量。四分之一波片的应用包括从线性偏振产生圆偏振或从圆偏振产生线性偏振、椭圆偏振、光泵浦、抑制不想要的反射（当与偏振器结合使用时）和光隔离（当与偏振分束器立方体一起使用时）。半波片的厚度使得相位差为V（零阶）或3V、5V、7V等（多阶）。入射到半波片上的线偏振光束作为线偏振光束出射，但被旋转使得其与光轴的角度是入射光束的两倍。通常使快轴位于与输入偏振成45°的延迟器的表面中。因此，半波片引入了偏振面的90°旋转，伊林零级波片是优选的波片类型。它们对温度、波长、入射角或准直的变化不敏感。15nm的波长偏移将导致大约1%的延迟变化。它们以25.4 nm安装方式提供。

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