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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新车型GT63A是第五代车型,采用相同的注塑锁定平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在响应客户的需求,创造额外的价值:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进个客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;GT63A以其设计理念和高可靠性享誉全球,GT63A与之前的GT系列车型在同一平台上设计,以尽可能多地使用通用部件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT63A是第五代型号,采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在满足客户创造额外价值的需求:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同,以便使用尽可能多的通用组件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 150mJ 平均功率: 15W 最大重复率: 100Hz
操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借我们的专利技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学端口上的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。IPEX-700可在任何使用Windows 7、8或10的计算机上操作。为了您的方便,还包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。
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混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 400mJ 平均功率: 40W 最大重复率: 100Hz
操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借我们的专利技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便,包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。
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混合气体: XeCl 波长: 308 nm 脉冲能源: 250mJ 平均功率: 25W 最大重复率: 100Hz
操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借我们的专利技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便,包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。
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混合气体: XeF 波长: 351 nm 脉冲能源: 225mJ 平均功率: 100W 最大重复率: 22Hz
操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借我们的专利技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便,包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。
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混合气体: XeF 波长: 351 nm 脉冲能源: 300mJ 平均功率: 15W 最大重复率: 50Hz
操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借我们的专利技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便,包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 230mJ 平均功率: 30W 最大重复率: 200Hz
IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术,可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借正在申请专利的Excipure™技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。
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混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 450mJ 平均功率: 80W 最大重复率: 200Hz
IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术,可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借正在申请专利的Excipure™技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。
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混合气体: XeCl 波长: 308 nm 脉冲能源: 300mJ 平均功率: 50W 最大重复率: 200Hz
IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术,可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借正在申请专利的Excipure™技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。
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混合气体: XeF 波长: 351 nm 脉冲能源: 275mJ 平均功率: 45W 最大重复率: 200Hz
IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术,可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借正在申请专利的Excipure™技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。
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混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 600mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 100Hz
IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术,可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借正在申请专利的Excipure™技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。