• GT62A 6千赫兹准分子激光器90W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

  • GT63A ArF准分子激光器60W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新车型GT63A是第五代车型,采用相同的注塑锁定平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在响应客户的需求,创造额外的价值:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进个客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;GT63A以其设计理念和高可靠性享誉全球,GT63A与之前的GT系列车型在同一平台上设计,以尽可能多地使用通用部件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

  • GT63A ArF准分子激光器90W版本 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz

    GT系列的较新型号GT63A是第五代型号,采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在满足客户创造额外价值的需求:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同,以便使用尽可能多的通用组件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。

  • GT64A ArF浸入式准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 20mJ 平均功率: 120W 最大重复率: 6000Hz

    GT64A提供业界较高的120W输出功率,具有高光束性能和稳定性。该产品的设计重点是性能、效率和减少环境影响,挑战总运营成本效率的极限。这是继承Gigaphoton的Timeless Injection Lock(TM)技术的第六代产品。基于GT平台著名的双腔架构、输出控制算法、光束对准技术,GT64A可提供120W的功率输出、卓越的光束性能和稳定性,以及业界一流的可靠性、恢复时间和模块寿命。

  • GT65A ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton Inc.
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 20mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz

    GT65A是使用注入锁定方法的第七代平台,安装了领先的技术,并通过可变光谱宽度(E95)带来的“曝光性能改进”和改进的稳定性、延长的模块寿命带来的“高可用性”以及无氦气带来的“降低的环境负荷”,为客户进一步提高了生产率(晶圆产量)。

  • IPEX-746 ArF准分子激光器 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 150mJ 平均功率: 15W 最大重复率: 100Hz

    操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借我们的专利技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学端口上的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。IPEX-700可在任何使用Windows 7、8或10的计算机上操作。为了您的方便,还包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。

  • IPEX-746 KrF准分子激光器 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 400mJ 平均功率: 40W 最大重复率: 100Hz

    操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借我们的专利技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便,包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。

  • IPEX-746 XeCl准分子激光器 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    混合气体: XeCl 波长: 308 nm 脉冲能源: 250mJ 平均功率: 25W 最大重复率: 100Hz

    操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借我们的专利技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便,包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。

  • IPEX-746 XeF准分子激光器 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    混合气体: XeF 波长: 351 nm 脉冲能源: 225mJ 平均功率: 100W 最大重复率: 22Hz

    操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借我们的专利技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便,包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。

  • IPEX-766 XeF准分子激光器 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    混合气体: XeF 波长: 351 nm 脉冲能源: 300mJ 平均功率: 15W 最大重复率: 50Hz

    操作准分子激光器的较大单项成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借我们的专利技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在移除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-700激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。IPEX-700是脉冲激光沉积、PLD等应用的理想选择。使用Windows 7、8或10.为了您的方便,包括Microsoft Surface Pro 4平板电脑。*动态气体寿命是指运行激光器时的气体使用量。静态气体寿命是指不运行激光器时的气体使用量。

  • IPEX-840 ArF工业准分子激光器 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 230mJ 平均功率: 30W 最大重复率: 200Hz

    IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术,可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借正在申请专利的Excipure™技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。

  • IPEX-840 KrF工业准分子激光器 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 450mJ 平均功率: 80W 最大重复率: 200Hz

    IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术,可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借正在申请专利的Excipure™技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。

  • IPEX-840 XeCl工业准分子激光器 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    混合气体: XeCl 波长: 308 nm 脉冲能源: 300mJ 平均功率: 50W 最大重复率: 200Hz

    IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术,可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借正在申请专利的Excipure™技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。

  • IPEX-840 XeF工业准分子激光器 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    混合气体: XeF 波长: 351 nm 脉冲能源: 275mJ 平均功率: 45W 最大重复率: 200Hz

    IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术,可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借正在申请专利的Excipure™技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。

  • IPEX-868 KrF工业准分子激光器 激光器模块和系统
    加拿大
    厂商:LightMachinery
    混合气体: KrF 波长: 248 nm 脉冲能源: 600mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 100Hz

    IPEX系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计,可提供高功率紫外激光加工以及较先进的性能。IPEX激光器采用LightMachinery的专利Excipure™技术,可提供巨大的气体寿命、卓越的光学稳定性和激光操作参数的精确控制。操作准分子激光器的较大单一成本是激光气体消耗(也称为动态气体寿命*)。凭借正在申请专利的Excipure™技术,LightMachinery在气体使用方面比竞争对手的激光器提高了10倍。这一技术突破大大降低了激光器的运行成本。安装在光学器件端口的EasyClean自动阀允许密封激光室,并在拆除谐振器光学器件进行清洁和维护时保留气体填充/钝化。IPEX-800激光器易于使用,维修简单,操作经济,将高精度准分子加工的优势与当今市场上较低的总拥有成本和较高的正常运行时间相结合。上面所示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。

  • IXION-193-SLM DPSS激光器 激光器模块和系统
    美国
    厂商:Market Tech Inc.
    波长: 193.368nm 平均值功率: 0.01W 重复频率: 6 - 6 kHz 空间模式: 1.6 脉宽: 10ns

    Ixion-193是一种单频全固态激光系统,用于光学计量、193 nm步进光学器件的校准或高功率ARF准分子激光器的带宽控制等应用。光谱带宽接近其理论傅里叶极限。系统的中心波长可以在190和194nm之间以0.01nm的精度选择。作为一种选择,系统中集成了绝对光谱精度为0.001nm的高精度光谱仪。这允许较大程度地控制激光器的光谱调谐。

  • 激光钻孔机系统 激光器模块和系统
    处理区: Not Specified

    支架制造中的一个过程是管架的钻孔。这种微小尺寸的孔很容易用激光钻出。然而,激光束不应撞击在金属支架本身上,因为它会损坏金属支架。使用HYLAX专有的ScanVision技术,我们可以通过对要钻孔的一般模式进行编程,并在实际钻孔之前检查每个点,如果金属支架的一部分挡住了,则跳过。由于支架线是灵活的,初始编程的盲法是不可行的,因为线将随机放置。尺寸以100μm为单位,因此没有空间用于安全区域缓冲支架导线的孔。有了这项技术,我们可以使用固态激光器,而不是需要更多维护和需要有毒气体操作的准分子激光器。该方法还提高了该过程的产量。

  • Xiton Photonics IXION-193激光器 激光器模块和系统
    波长: 193nm 平均值功率: 0.01W 重复频率: 1 - 15 kHz 空间模式: 1.6 脉宽: 8-12ns

    Xiton Photonics Ixion-193是一款单频全固态193nm激光器,用于光学计量等应用。Ixion-193-SLM的中心波长可以在190和194nm之间以0.01nm的精度选择。光谱带宽接近理论傅里叶极限,这使得Ixion-193-SLM可用于193nm步进光学器件的校准或高功率ARF准分子激光器的带宽控制。

  • GIGANEX系列 激光器模块和系统
    日本
    厂商:Gigaphoton
    类型: Laser System 技术: Excimer Laser 工作模式: Pulsed Laser 超快激光: Nanosecond Lasers 可调谐: No

    用于低温多晶硅平板显示行业的新型准分子激光器

  • ExciStar-200准分子激光器 激光器模块和系统
    美国
    厂商:相干公司
    波长: 193 nm 重量: Weight 66 kg (145.5 lbs.) 冷却方式: Air

    ExciStar是一款桌面型准分子激光器,具有高(高达1千赫兹)的重复率,易于系统集成,并且性能可靠。 数以千计的ExciStar激光器服务于广泛的紫外应用,包括角膜烧蚀、处方镜打标、光学传感器制造、蛋白质研究、FBG书写等。烧蚀任何材料,从透明塑料到钻石。