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中心波长: 0.515um 输出功率: 80mW
CWA系列激光器是高度稳定、温度稳定的二极管激光器,功率高达500 MW,并可根据要求进行无模式跳变的CW操作。高精度温度稳定至<0.02°K的较大二极管温度变化,以及激光二极管的稳定电源,可实现极高的功率稳定性和极低的噪声水平。该系统由一个激光头和一个激光控制器组成,安装在19英寸的盒式磁带外壳中,集成了90-240 V AC 50/60 Hz电源装置,可在全球范围内使用。集成的调制输入用于高达1kHz的模拟功率调制和高达10K Hz的TTL调制,可集成到控制和测量过程中。与BluePhoton®和RedPhoton®系列的所有激光器一样,通过使用模块化原理,激光头可以非常简单地适应客户的规格。
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中心波长: 0.515um 输出功率: 50mW
CWA.L系列激光器是高度稳定、温度稳定的二极管激光器,适用于机器、设备和仪器的OEM应用。由于其智能激光控制器具有RS-232接口,这些激光器可以无缝集成到应用程序和控制器中。通过标准化命令行界面(CLI),您可以随时完全控制激光器的所有参数,例如激光二极管温度、激光功率和电流、操作模式等。高精度温度稳定至<0.02°K的较大二极管温度变化,以及激光二极管的稳定电源,可实现极高的功率稳定性和极低的噪声水平。根据工业标准,该系统由一个激光头和一个激光控制器组成,安装在EMC屏蔽的模块化外壳中,电源电压输入为24 V DC。集成的调制输入支持高达1 kHz的模拟功率调制和高达10 kHz的TTL调制,可集成到控制和测量过程中。与BluePhoton®和RedPhoton®系列的所有激光器一样,通过使用模块化原理,激光头可以非常简单地适应客户的规格。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz
在我们开始大规模生产和出货GT60A不到一年的时间里,Gigaphoton成功开发了GT61A。与GT60A相比,型号GT61A的光谱带宽提高了30%(E95%),激光室寿命更长,从而减少了停机时间和维护成本。GT61A是GT系列的第三代型号,采用了与GT40A和GT60A型号相同的注入锁定平台,这两个型号已经被全球半导体行业的主要用户所接受。GT系列的设计理念和可靠性在业界广受好评。由于基于相同的平台,GT61A较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件,从而确保用户从一开始就能实现高可靠性。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。