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1. 诞生背景
特外曼-格林干涉仪是由英国物理学家弗兰克·特外曼(Frank Twyman)和阿尔弗雷德·格林(Alfred Green)于1916年发明的。他们的目标是改进迈克尔逊干涉仪,使其能够测量更大的光束,从而提高测量精度。这种干涉仪的一个主要优点是它可以直接测量光波前的偏差,而不需要通过比较两个相邻的光波前。
2. 相关理论或原理
特外曼-格林干涉仪的工作原理与迈克尔逊干涉仪类似,都是通过分割和重组光束来产生干涉图案。不同的是,特外曼-格林干涉仪使用了扩展光束,而不是点光源。这意味着它可以同时测量整个光波前的偏差,而不仅仅是一个点。这种干涉仪的另一个特点是它使用了一个固定的分束器,这使得光路更加稳定,从而提高了测量精度。
3. 重要参数指标
特外曼-格林干涉仪的主要参数包括光源的波长、分束器的反射率、以及干涉图案的分辨率。这些参数都会影响到干涉仪的性能,例如,波长越短,分辨率就越高;反射率越高,干涉图案就越明显。
4. 应用
特外曼-格林干涉仪广泛应用于光学、物理和工程领域,用于测量光波前的偏差、光学元件的表面质量、以及材料的折射率等。此外,它还可以用于测量光学系统的像差,以及进行波前重构等高级应用。
5. 分类
特外曼-格林干涉仪主要分为静态型和动态型两种。静态型干涉仪在测量过程中,光源、干涉仪和被测物体都保持静止。而动态型干涉仪则允许在测量过程中改变光源或被测物体的位置,从而实现动态测量。
6. 未来发展趋势
随着光电技术的发展,特外曼-格林干涉仪的性能和应用领域都将进一步扩大。例如,通过使用更短波长的光源,可以提高测量精度;通过使用数字图像处理技术,可以实现自动化和实时测量;通过结合其他测量技术,可以实现更复杂的应用。
7. 相关产品及生产商
目前市场上主要的特外曼-格林干涉仪生产商有美国泽布拉光学公司(Zygo Corporation)和德国施特恩光学公司(Steinbichler Optotechnik GmbH)等。他们生产的干涉仪广泛应用于科研和工业领域,受到了用户的广泛好评。