首页技术中心光电百科激光微加工（Laser Micromachining）

激光微加工（Laser Micromachining）

更新时间：2024-11-21 15:44:58

分类: 激光材料加工

简称: LBMM = laser beam micro-machining

别名: laser beam micromachining, laser micro-machining

定义: 用激光辐射在微米级的范围内进行加工

激光微加工（Laser Micromachining）详述

纠错

1. 激光微加工的诞生背景

激光微加工技术是随着微电子技术、微机械技术、微光学技术等微纳米技术的发展而诞生的一种新型加工技术。它是利用激光束的高能量密度和良好的方向性，通过聚焦后在微米级的范围内进行加工，实现微小部件的精密加工。由于激光微加工技术具有无接触、无力、无热影响区、高精度、高效率等优点，因此在微电子、微机械、微光学等领域得到了广泛的应用。

2. 激光微加工的相关理论或原理

激光微加工的基本原理是利用激光束的高能量密度和良好的方向性，通过聚焦后在微米级的范围内进行加工。激光束经过聚焦后，能量密度极高，可以瞬间将材料加热到蒸发温度，产生高压蒸汽，推动材料迅速膨胀，形成微小的孔洞。这就是激光微加工的基本过程。

在激光微加工过程中，激光束的能量密度和聚焦精度是两个重要的参数。能量密度决定了激光微加工的加工深度和加工速度，聚焦精度决定了激光微加工的加工精度和加工质量。因此，要实现高精度、高效率的激光微加工，必须对激光束的能量密度和聚焦精度进行精确控制。

3. 激光微加工的应用

激光微加工技术在微电子、微机械、微光学等领域有着广泛的应用。在微电子领域，激光微加工技术可以用于制作微型电子元件，如微型电容、微型电阻、微型电感等。在微机械领域，激光微加工技术可以用于制作微型齿轮、微型轴承、微型马达等。在微光学领域，激光微加工技术可以用于制作微型透镜、微型光栅、微型光纤等。

此外，激光微加工技术还在生物医学、材料科学、能源科技等领域有着广泛的应用。例如，在生物医学领域，激光微加工技术可以用于制作微型生物芯片、微型药物输送系统等。在材料科学领域，激光微加工技术可以用于制作微型材料测试样品、微型材料表面处理等。在能源科技领域，激光微加工技术可以用于制作微型太阳能电池、微型燃料电池等。

激光微加工（Laser Micromachining）推荐产品

图片名称分类制造商 PDF资料参数描述

YLPF-100-750-100-R 激光器模块和系统 IPG Photonics 波长: 1030 nm
IPG Photonics的YLPF-100-750-100-R是一种镱飞秒混合激光器，工作波长为1030nm.它提供脉冲能量为100μJ的脉冲，可扩展平均输出功率为100 W，脉冲持续时间范围为600至900 FS，可由客户选择，完整工作重复率范围为50-2000 kHz.新颖的设计结构与灵活的控制电路一起提供了短的预热时间，并允许在不影响输出光束参数的情况下调整脉冲能量和重复率。该激光器为台式设备，尺寸为448 X 580 X 132 mm（80 X 245 X 61 mm激光头）。它是广泛应用的理想选择，包括精密微加工、微钻孔、太阳能/光伏/平板显示器的薄膜烧蚀、LED切割、精管切割、医疗设备制造以及玻璃、硅、陶瓷、聚合物和复合材料。激光器需要100至240 V的交流电源电压，功耗高达750 W.
阿克苏激光器模块和系统相干公司
Coherent的Axon是一系列固定波长飞秒激光器，专为仪器和OEM集成而设计。这些空气冷却激光器可提供高达1000 MW的输出功率。激光头尺寸为212 X 318 X 62 mm，电源采用3U、19英寸机架安装单元。Axon 920对于绿色荧光团和钙指示剂如GcAMP的双光子激发是理想的。同样，Axon 1064激光器非常适合红移指示器。该激光器可选配全集成总功率控制（TPC），用于快速功率调制和回扫消隐。
FS1-1030-50 激光器模块和系统 Photonics Industries 波长: 1030 nm
Photonics Industries的FS1-1030-50是一款波长为1030 nm、功率为50 W、脉冲能量为50µJ、工作温度为15至30摄氏度的激光器。有关FS1-1030-50的更多详细信息，请参见下文。
RX 1064-100 激光器模块和系统 Photonics Industries 波长: 1064 nm
Photonics Industries的RX 1064-100是一款波长为1064 nm、功率为100 W、脉冲能量为1000µJ、工作温度为15至30摄氏度的激光器。有关RX 1064-100的更多详细信息，请参见下文。
CARBIDE 激光器模块和系统 Light Conversion 波长: 1029 ± 5 nm
来自光转换的碳化物是在1030nm下操作的飞秒激光器。它以60 kHz至2 MHz的可调基本重复率提供超过80 W的输出功率，脉冲能量超过800µJ，脉冲持续时间为290 FS至10 PS.该激光器包括一个内置的脉冲选择器，用于按需脉冲控制。该激光器还具有集成谐波发生器选项，可产生515 nm、343 nm和257 nm的输出波长。硬质合金可用于带有激光头的模块中，适用于科学和工业应用。
PH2-SP-20W-2mJ 激光器模块和系统 Light Conversion 波长: 1033 nm ± 5 nm
来自光转换的PH2-SP-20W-2mJ是1033nm飞秒激光器。它提供高达20 W的功率，脉冲能量超过2 MJ，可调脉冲持续时间为190 FS至20 PS.它具有1 kHz至1 MHz的可调基本重复率。内置脉冲选择器可在按需脉冲模式下方便地控制激光输出。该激光系统包括具有515、343、257和206nm输出波长的集成可选自动谐波发生器。它还具有调谐范围为640至4500nm的可选参数放大器和热稳定系统。PH2-SP-20W-2mJ激光器采用坚固耐用的工业级机械设计，配有激光头（730（L）×419（W）×233（H）mm）。该激光系统适用于精密材料加工应用。
GIGANEX系列激光器模块和系统 Gigaphoton
用于低温多晶硅平板显示行业的新型准分子激光器
FX-系列激光器模块和系统 EdgeWave 波长: 343 to 1030 nm
来自EdgeWave的FX系列是波长为343至1030 nm、功率为30至200 W、输出功率（脉冲）为30至200 W、脉冲能量为15至100 uJ、工作温度为15至35摄氏度的激光器。FX系列的更多细节可参见下文。
PX-系列激光器模块和系统 EdgeWave 波长: 266 to 1064 nm
EdgeWave的PX系列是一款波长为266至1064 nm、功率为20至400 W、输出功率（脉冲）为20至400 W、脉冲能量为200至1500 uJ、工作温度为15至35摄氏度的激光器。
ATLEX LR 激光器模块和系统 ATL Lasertechnik GmbH 波长: 193 nm
ATL Lasertechnik的ATLEX LR是一种工作波长为193 nm的脉冲激光器。该激光器的脉冲能量为10~12mJ，脉冲宽度为5ns.它包括一个集成的真空泵和卤素过滤器与激光头。脉冲激光器通过ATL的准分子技术制造，采用紧凑型风冷TMC（全金属陶瓷）容器，尺寸为540 X 470 X 370 mm，配有RS-485、RS232、USB和光纤接口，用于系统集成。该激光器适用于低占空比应用。