已选
- 美国
- Prior Scientific Inc
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微步尺寸: 0.00009um 内置控制器: Yes 旅行范围: 0.026mm 反冲: Not Specified 运动轴: Three较佳纳米定位的精度、准确度和速度。DPT-E系列致动器采用电容反馈控制设计，以提供精确定位。DPT-E执行机构是较苛刻应用的理想选择。执行机构能够在其整个行程范围内移动高达60 kg的负载。低电子噪声和高线性度，确保致动器精确、快速和准确地定位。超级不胀钢结构提供了高的热稳定性，并提供了优越的位置稳定性。DPT-E是高压DPT-C系列执行器的低压替代品。尺寸与DPT-C系列相同，行程范围至少增加了25%，动态性能也得到了增强。
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微步尺寸: 105um 内置控制器: Yes 旅行范围: 0.105mm 反冲: Not Specified 运动轴: Three致动器提供非常坚硬的设计，能够产生高达1000N（MTP-15）的阻挡力。这一特性使致动器能够在Z轴上驱动较大10kg（MTP-15）的负载。在标称范围内驱动MTP执行器只需要一个0V至120VDC高压放大器。但是，如果需要，可以通过使用-30V至150VDC的高压放大器来实现额外的范围。如果需要小尺寸和闭环性能，MTP可以与Queensgate的位置测量系统结合使用。这提供了用于亚纳米精度的电容性位置感测，具有与致动器独立放置传感器的优点。这允许将传感器板自由地安装在主机固定装置上的任何方便的点。
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微步尺寸: 1um 内置控制器: Yes 旅行范围: 0.016mm 反冲: Not Specified 运动轴: ThreeNPS-Z-15L是一款针对高负载应用而优化的压电扫描台。NPS-Z-15L提供超过15μm的闭环行程，具有亚纳米分辨率和稳定性。该平台专为高刚度设计，可承载高达500 kg的负载。优化的机械设计产生了空载谐振频率大于8000Hz的器件。超级殷钢结构意味着舞台具有非常高的热稳定性和环境稳定性。通过闭环PID电子设备进行动态优化，较大限度地提高系统的现场步进响应和位置稳定性。电子配置可提供多达3个或6个阶段的独立控制，非常适合大型光学器件或晶片/掩模器件的对准/调平。