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  • C01型PicoScale传感器头 干涉仪
    德国
    分类:干涉仪
    厂商:SmarAct
    干涉仪配置: Not Specified 光源: 1550nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not Specified

    C01是皮级干涉仪的标准传感头类型。由于其准直输出光束、紧凑的外形和各种定制选项,它适用于较常见的应用。每个传感器头(见图1)基于两个主要组件:准直光纤输出光束的透镜系统和将光束分为参考光束和探测光束的分束器。参考光束被内部参考镜反射,该内部参考镜被涂覆到分束器立方体的一侧。探测光束从头部射出并被目标表面反射,以跟踪其相对位移。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置,因为在这里探针和参考光束具有相等的长度。

  • C03型PicoScale传感器头 干涉仪
    德国
    分类:干涉仪
    厂商:SmarAct
    干涉仪配置: Not Specified 光源: 1550nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not Specified

    C03是一种传感头类型,针对中等工作距离进行了优化,并使用回复反射器作为目标。探测光束被放大,使得其发散度减小,并且在目标反射镜处反射之后可以收集更多的光功率。C03传感头类型基于标准C01型传感头,包括光纤准直光学器件和分束器。分束器将光束分成参考光束和探测光束。参考光束被涂在分束器立方体一侧的内部参考镜反射。在C03传感器头中,探测光束在被望远镜(两个透镜)扩展后离开传感器头,以显著降低光束发散度。它被目标表面反射并跟踪其相对位移。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置,因为这里探测光束和参考光束具有相等的长度。

  • F01型PicoScale传感器头 干涉仪
    德国
    分类:干涉仪
    厂商:SmarAct
    干涉仪配置: Not Specified 光源: 1550nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not Specified

    F01是具有聚焦探测光束的传感头类型。这允许测量小目标的位移。此外,传感器头提供高角度公差。如图1所示,在预准直之后,集成分束器将光分成参考光束和探测光束。参考光束被参考反射镜反射,该参考反射镜被涂覆到分束器立方体的一侧。探测光束由透镜系统聚焦并从头部射出。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置,因为这里探测光束和参考光束具有相等的长度。因此,工作距离(WD)不等于距头部的距离(即焦距f),因为透镜系统仅集成到探测光束中。

  • L01型PicoScale传感器头 干涉仪
    德国
    分类:干涉仪
    厂商:SmarAct
    干涉仪配置: Not Specified 光源: 1550nm 输出极化: Linear 有效值重复性: Not Specified 有效值精度: Not Specified

    L01是皮级激光干涉仪的传感头。目标光束用柱面透镜仅沿一个轴聚焦,从而产生线聚焦。这样,传感器头沿着聚焦轴具有相对大的角度工作范围,同时沿着正交轴具有大的直径。通常,这些传感器头用于测量旋转圆柱形物体的偏心运动,并且对其摆动(即旋转轴的倾斜/倾斜)不敏感。