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  MEMS光栅调制器

  美国

  分类：声光调制器

  厂商：Boston Micromachines Corporation

  工作波长范围: 550 - 20000 nm 声学模式: Transverse 工作频率: .2MHz 光偏振: Random 光功率密度: 100KW/cm2

  MEMS光栅调制器是具有可控凹槽深度的反射衍射光栅，用于在从可见光到中红外的宽波长范围内工作。它能够实现类似于声光调制器的强度变化。该器件设计基于BMC的MEMS变形镜技术，该技术使用无滞后的静电致动器来变形连续镜面。