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  Mirrorcle技术公司的MEMS镜子

  美国

  分类：光学反射镜

  厂商：Mirrorcle Technologies Inc

  致动器数量: 3 波前倾斜行程: 10um 学生人数: 2.4mm 反光涂层材料: Protected Silver

  Mirrorcle Technologies公司的无万向架双轴扫描MEMS反射镜装置基于专有的ARI-MEMS制造技术，该技术较初是通过加州伯克利的亚得里亚海研究所（“ARI”）的研究项目开发的。它们在两个轴上提供非常快速的光束转向，同时需要超低功耗。反射镜将激光束或图像偏转到每个轴上高达32°的光学扫描角度（点对点或准静态模式）以及谐振模式中的更高角度。与体积庞大的基于检流计的光学扫描仪相比，这些设备所需的驱动功率要小几个数量级：驱动反射镜倾斜旋转的静电致动器的连续全速操作消耗的功率小于1mW。Mirrorcle Technologies MEMS反射镜完全由单片单晶硅制成，具有出色的可重复性和可靠性。平坦、光滑的镜面涂有一层具有高宽带反射率的金属薄膜。较小和中等尺寸的反射镜被制造为硅MEMS芯片的集成部分，而较大的反射镜被粘合到致动器上，从而允许定制反射镜尺寸。