重复率: 500-1000 Hz
波长: 193-248 nm
功率: 3-10 W
脉冲能量: 6-10mJ
MLase 现代化的紧凑型 MLI 准分子激光器是波长为 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,脉冲能量高达 16 mJ,脉冲重复频率高达 1,000 Hz。
它们是市场上使用寿命长、可靠性高、运行成本低的独立设备。其均匀的钢型和能量稳定性使其非常适合要求苛刻的应用。
此外,我们的 LC 准分子激光系统还能主动水冷却(使用生活用水或外部热交换器;无需纯净水),以实现稳定的连续运行。