EUV光刻机面临的较大问题是解决RLS权衡：同时提高分辨率、线宽粗糙度（LWR）和光敏性。AL412旋涂辅助层材料已经显示出降低线边缘粗糙度（LER）和图案塌陷、平坦化形貌、保护下面的层免受高能EUV光子损伤、改善粘附性以及改善图案转移蚀刻选择性。

超级抛光技术是一种专门为实现较小粗糙度值而开发的光学制造技术。Castech制造的超级抛光基板能够在熔融石英和光学玻璃等材料上实现低于2的粗糙度水平。用Zygo Newview 8300和原子力显微镜（AFM）测量表面粗糙度。

HyperRapid NX SmartCleave是一种工业高功率皮秒激光器，专门针对透明和脆性材料的高速和高质量切割进行了优化。HyperRapid NX采用Coherent专利SmartCleave技术，可在任意弯曲的外部或内部轮廓上进行无切口切割。HyperRapid NX SmartCleave具有1毫焦耳的爆发能量，可在一次通过中切割具有亚微米边缘粗糙度的厚基板，因此可在汽车和消费电子市场中实现新的应用。50 W平均功率型号是成本敏感型应用的较佳选择，而100 W版本则支持高达2 m/s的高速应用。

ECI使用各种不同的沉积方法生产薄膜涂层，我们较先进的沉积方法是离子束溅射（IBS）。离子束溅射产生具有低表面粗糙度的非常致密的涂层。IBS薄膜涂层的另一个优点是它们表现出优异的热稳定性。IBS涂层可承受高达300°C的长期暴露温度和500°C的短期暴露温度。与其他类型的涂层相比，IBS涂层还表现出较低的热位移。通常，离子束溅射涂层的热位移<0.5pm/°C。蒸发镀膜公司的四个IBS镀膜室利用先进的监控技术来生产接近理论性能的涂层。图1显示了与理论设计相比，过滤器涂层的实际性能。

Gamdan水热生长的KTP提供极低的吸收（完全校准）<10ppm/cm@1064nm，<300ppm/cm@532nm（比助熔剂生长的KTP低10-100倍）极佳的均匀性，WFD为λ/10@633nmUV级超级抛光可实现较佳高功率性能，粗糙度：<5Å，S/D为0-0长脉冲高功率医用激光器的优异性能Gamdan Flux-Grown KTP提供极佳的均匀性，WFD为λ/10@633nmUV级超级抛光可实现较佳高功率性能，粗糙度：<5Å，S/D为0-0针对批量应用的极具竞争力的定价

MountainsSEM®软件深受世界上较大的SEM制造商的信赖，是扫描电子显微镜图像分析的全面专用解决方案。只需点击几下即可为SEM图像中的对象添加颜色–从一个或多个图像扫描中重建样品的3D模型–测量SEM图像中的对象（长度、面积、角度、体积等）–提取垂直轮廓和水平轮廓–执行颗粒分析–将SEM图像与其他仪器的数据相结合，以进行相关研究–校正和增强SEM图像–调整亮度和对比度–去除噪声–拼接大样本图像–表征表面粗糙度。

NanoCam SQ动态光学轮廓仪可测量超光滑光学和精密表面的表面粗糙度。非接触式NanoCam SQ是对传统工作站光学轮廓仪所需的杂乱复制方法的巨大改进，并为测量大型光学器件提供了出色的便携性。通过启用机器上的粗糙度计量，NanoCam SQ提高了产量。通过消除运输昂贵的关键任务光学器件的需要，NanoCam降低了损坏的风险。NanoCam SQ光学轮廓仪采用动态干涉测量法（Dynamic Interferometry®），集成了高速光学传感器，测量速度比传统光学轮廓仪快数千倍。由于采集时间非常短，NanoCam SQ可以在振动的情况下进行测量，因此可以将仪器安装在抛光设备、台架或机器人末端执行器上。NanoCam SQ结构紧凑，重量轻，可直接放置在大型光学器件上。有了这种定位的自由度，NanoCam可以测量大型光学器件上任何位置的表面光洁度。NanoCam SQ动态光学轮廓仪包括4Sight高级分析软件。业界领先的4Sight报告ISO 25178表面粗糙度参数（S参数），并提供广泛的2D和3D分析选项、数据过滤、屏蔽、数据库和导入/导出功能。

超级抛光产品包括成品基材和镜面涂层。可接受OEM设计生产。主要特征如下：1、材质：超低膨胀，高品位夹杂物2、表面粗糙度（RMS）：1-5埃3、平整度：L/10~L/204、表面质量：10-5划伤和挖伤

SUNRISE OPTICAL LLC（http：//zebraoptical.com）开发了一种光学免疫机械振动和杂散光。粗糙或特征丰富样品的精密形貌测量工具。精密压电台。然后使用专有算法对散焦图像进行分析，以恢复样品的形貌和粗糙度。该装置作为标准斑马光学显微镜系统的附件出售。技术类似于我们的标准手册中的小飞溅计量工具。

TMS-500 TopMap Pro.Surf和TMS-500-R TopMap Pro.Surf+是高精度、非接触式测量系统，具有大视场，可快速高效地对精密零件进行表面表征。TopMap Pro.Surf和Pro.Surf+集成了可跟踪校准的白光干涉仪，具有较大的垂直测量范围，可以精确表征陡峭边缘附近的表面，例如钻孔或具有较大台阶的零件。即使对于宏观样品，也可以快速检查平面度和平行度参数，并且具有极好的可重复性。额外的色度共焦传感器可在TopMap Pro.Surf+的单次测量中进行粗糙度评估。

HelioSpetTM H6的设计可满足较苛刻的3D在线检测任务的规格，如测量台阶高度、角度、形状、粗糙度、波纹、波度、缺陷、划痕、磨损平整度、共面性、变形膜厚度（层析成像模式）。得益于Heliotis在工业应用3D传感器方面的长期经验，H6将干涉测量精度与鲁棒性和高吞吐量相结合。