设计特点移动到240μm X 240μm X 25μm高达66 mm X 66 mm的大方形通光孔径通过并联运动设计实现卓越的多轴精度高刚度和高动态性能，从而实现高工艺产量高精度、无摩擦挠曲引导正在申请专利的设计提供了无与伦比的几何性能器件寿命长卓越的定位分辨率和线性度，提供直接计量电容式传感器选项开环和真空版本Aerotech的QNP3系列XYZ并联运动压电定位平台在紧凑的扁平封装中结合了亚纳米分辨率、高动态性能和出色的几何性能。QNP3系列压电级标配大通光孔径，闭环行程高达200µm X 200µm X 20µm（开环行程高达240µm X 240µm X 25µm）。该设计是光学和扫描探针显微镜或其他检测或制造应用的理想选择，在这些应用中，需要通过三个自由度操作进行双面零件访问。精密平行运动设计QNP3压电级采用平行运动挠曲和计量设计，确保较高水平的多轴精度。QNP3级采用经过FEA优化的精密挠性件，可确保高刚度和长器件寿命，提供同类较佳的刚度和谐振频率，从而实现高工艺产量和快速闭环响应。使用正在申请专利的驱动器设计，X和Y偏航误差被较小化，同时仍然保持符合阿贝标准的计量系统。这种设计在整个XY行程空间内实现了无与伦比的定位性能。Z轴致动器和电容传感器被设计为在垂直方向上以较小的几何误差提供符合阿贝标准的反馈。亚纳米性能所有QNP3压电级均提供闭环反馈（-C）或开环（无反馈）。独特的电容式传感器并行计量设计可测量定位托架的输出，直接实现亚纳米分辨率、低于0.01%的线性误差和个位数纳米可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP3平台展示了亚纳米定位分辨率、定位稳定性（抖动）和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。还提供OEM驱动器选项。Aerotech的控制器架构可轻松实现压电级、伺服系统、步进器和检流计之间的高速、紧密控制的协调运动。设计选项可选的安装板提供直接安装英制或公制试验板光学表。还提供了一个坚固的桌面选项。QNP3压电级可根据要求提供定制材料和真空制备版本。

设计特点行程范围为100µm至600µm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供亚纳米级性能。各种行程（100µm至600µm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，这些载物台的设计旨在提供出色的几何性能（直线度和角度误差），同时较大限度地减小整个载物台封装尺寸、高分辨率和定位精度。所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括XY和Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。

设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。

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设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。

设计特点从10μm到40μm的闭环行程直接驱动执行机构可实现快速响应时间和更高的吞吐量工艺高精度、无摩擦弯曲导向延长器件寿命通过直接计量电容传感器选项实现卓越的定位分辨率和线性度开环和真空版本SAEROTECH的QNPHD压电纳米定位平台在一个紧凑的高刚度封装中同时提供平台和执行机构的优势。QNPHDIS具有直接计量、电容式传感器反馈选项、高谐振频率和高负载能力，非常适合各种高速和高精度应用，如扫描探针显微镜、光盘驱动测试或半导体晶片关节。响应速度快，精度高QNPH采用直接驱动驱动设计和优化结构，可实现毫秒级响应和移动-停留时间。在使用有限元分析优化以确保高刚度和长器件寿命的精密挠曲的指导下，QNPHD提供了高动态性能，同时为关键的纳米定位应用保持了出色的几何性能（平直度和角度误差）。高分辨率和定位精度QNPHD具有闭环反馈（-C）选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和单位数纳米线性度误差。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNPHD展示了亚纳米定位分辨率和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。安装灵活性QNPHDIS提供后部和侧面电缆引出选项，以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性允许用户将载物台定向和包装成较佳布置，而不需要设计各种适配器板和支架，这些适配器板和支架会增加尺寸和设计复杂性。可选的安装板可直接安装到英制或公制光学试验板工作台上。定制设计和真空制备版本可根据要求提供。

设计特点闭环从10μm到40μm。直接驱动驱动可实现快速响应时间和更高的吞吐量过程高精度、无摩擦挠曲引导器件寿命长卓越的定位分辨率和线性度，提供直接计量电容式传感器选项开环和真空版本Aerotech的QNPHD压电纳米定位平台在一个紧凑的高刚度封装中提供了平台和致动器的优势。QNPHDIS具有直接计量、电容式传感器反馈选项、高谐振频率和高负载能力，非常适合各种高速和高精度应用，如扫描探针显微镜、光盘驱动测试或半导体晶片关节。响应速度快，精度高QNPH采用直接驱动驱动设计和优化结构，可实现毫秒级响应和移动-停留时间。在使用有限元分析优化以确保高刚度和长器件寿命的精密挠曲的指导下，QNPHD提供了高动态性能，同时为关键的纳米定位应用保持了出色的几何性能（平直度和角度误差）。高分辨率和定位精度QNPHD具有闭环反馈（-C）选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和单位数纳米线性度误差。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNPHD展示了亚纳米定位分辨率和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。安装灵活性QNPHDIS提供后部和侧面电缆引出选项，以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性允许用户将载物台定向和包装成较佳布置，而不需要设计各种适配器板和支架，这些适配器板和支架会增加尺寸和设计复杂性。可选的安装板可直接安装到英制或公制光学试验板工作台上。定制设计和真空制备版本可根据要求提供。

设计特点闭环从10μm到40μm直接驱动驱动可实现快速响应时间和更高的吞吐量过程高精度、无摩擦挠曲引导器件寿命长卓越的定位分辨率和线性度，提供直接计量电容式传感器选项开环和真空版本Aerotech的QNPHD压电纳米定位平台在一个紧凑的高刚度封装中提供了平台和致动器的优势。QNPHDIS具有直接计量、电容式传感器反馈选项、高谐振频率和高负载能力，非常适合各种高速和高精度应用，如扫描探针显微镜、光盘驱动测试或半导体晶片关节。响应速度快，精度高QNPH采用直接驱动驱动设计和优化结构，可实现毫秒级响应和移动-停留时间。在使用有限元分析优化以确保高刚度和长器件寿命的精密挠曲的指导下，QNPHD提供了高动态性能，同时为关键的纳米定位应用保持了出色的几何性能（平直度和角度误差）。高分辨率和定位精度QNPHD具有闭环反馈（-C）选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和单位数纳米线性度误差。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNPHD展示了亚纳米定位分辨率和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。安装灵活性QNPHDIS提供后部和侧面电缆引出选项，以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性允许用户将载物台定向和包装成较佳布置，而不需要设计各种适配器板和支架，这些适配器板和支架会增加尺寸和设计复杂性。可选的安装板可直接安装到英制或公制光学试验板工作台上。定制设计和真空制备版本可根据要求提供。