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光电二极管公司的SXUV5是一种有效面积为5mm2的EUV(极紫外)圆形光电二极管。这款高速光电二极管具有卓越的13.5 nm光刻能力,在1至90 nm的极端UV曝光中具有稳定的响应度,使其成为EUV光最关键测量的理想选择。该器件具有高达1500 PF的电容、高达1 ns的响应时间和高达0.34 A/W的响应度。在大气环境中,该器件的工作温度范围为-10°C至+40°C,在氮气或真空环境中,该器件的工作温度范围为-20°C至+80°C.这款光电二极管符合RoHS规范,采用TO-5封装。
SiX-D-L是一个扩展响应硅二极管探测器,无窗口,可直接安装在真空系统上,通过2.75英寸的conflat法兰与适配器连接。该二极管从近红外到极紫外的范围内都有响应。适用于近红外至极紫外范围检测,具有50-350mA/W的辐射灵敏度。