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波长范围: 190 - 1700 nm 决议: 0.3-2nm 最短扫描时间: 0.2sec
FilmTek™2000 PAR是一种低成本解决方案,用于开发和生产环境中的高通量、全自动图案化晶圆映射。该系统将获得专利的DUV-NIR反射计与晶圆自动加载器和模式识别相结合,在此价位上提供无与伦比的计量性能。FilmTek™2000 PAR采用SCI的专利抛物面镜技术,可测量从深紫外到近红外的波长,光斑尺寸小至13µm。该系统配备先进的材料建模软件,即使是较严格的测量任务也能实现可靠和直观。FilmTek™软件包括完全用户可定制的晶圆映射功能,可快速生成任何测量参数的2D和3D数据图。除了用户定义的模式外,标准映射模式还包括极坐标、X-Y、Rθ或线性。FilmTek™2000 PAR将SCI的广义材料模型与先进的全局优化算法相结合,可在每个站点1秒内同时确定多个薄膜特性。
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波长范围: 190 - 1700 nm 决议: 0.3-2nm 最短扫描时间: 1sec
FilmTek™2000 PAR-SE组合计量生产线是我们较先进的台式计量解决方案,具有业内较高的准确度、精度和多功能性。FilmTek™2000 PAR-SE的设计旨在满足从研发到生产的几乎所有先进薄膜测量应用的需求。FilmTek™2000 PAR-SE结合了光谱椭圆偏振法和DUV多角度偏振反射法,具有宽光谱范围,可满足较具挑战性的测量需求。SCI的专利抛物面镜技术可实现低至50µm的小光斑尺寸,非常适合直接测量产品晶圆和图案化薄膜。FilmTek™2000 PAR-SE结合了专利多角度差分偏振(MADP)和差分功率谱密度(DPSD)技术,利用多角度偏振光谱反射计独立测量薄膜厚度和折射率。通过独立测量折射率和厚度,FilmTek™2000 PAR-SE对薄膜(尤其是多层堆叠中的薄膜)的变化比依赖于传统椭圆偏振或反射测量技术的现有计量工具更加敏感。FilmTek™2000 PAR-SE是一个完全集成的软件包,配有先进的材料建模软件,即使是较严格的测量任务也能可靠和直观地完成。硬件和软件都可以轻松修改,以满足客户的独特需求。
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反光涂层: Protected Aluminum, Protected Silver, Protected Gold, Custom 基质: Metallic, Custom 波长范围: 400 - 10000 nm 表面平整度: 1 lambda, Custom 表面质量: 40-20 scratch-dig, 60-40 scratch-dig, Custom
离轴抛物面(OAP)反射镜是其反射表面是母抛物面的部分的反射镜。它们消色差地聚焦准直光束或准直发散源,并且它们的离轴设计将焦点与光束路径的其余部分分离。反射式设计消除了由透射式光学器件引入的相位延迟和吸收损耗。请致电+86-755-8378 2881联系我们|Emailus sales@szlaser.com|www.szlaser.com
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反射镜类型: Off-Axis Parabolic Mirror 反射镜形状: Parabolic 父焦距公差: ±1% 反射焦距公差: ±1% 通光孔径: 90% of diameter
Thorlabs公司的MPD244-P01是一款离轴抛物面镜,离轴角为45度。反射镜的反射焦距为101.6mm,母焦距为86.7mm.它的直径为2英寸,厚度为1.5英寸。OAP反射镜使用铝基板制造,金刚石加工的抛物面具有受保护的银涂层,在450 nm至2µm范围内提供超过97.5%的平均反射率,在2µm至20µm范围内提供超过96%的平均反射率。每个镜子的底部都有三个8-32螺纹的三角形安装孔和一个与安装适配器一起使用的对准孔。
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