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运动轴: One 旅行范围: 50-1000mm 负载能力: 30-80kg 最大速度: 50mm/s
KA系列产品是一组中等尺寸、中等行程的高精度电动工件台。该系列底盘采用高刚性U型结构,确保该系列能够适应重载、高刚性、多维组合的作业环境。可选配不锈钢防尘罩,在实际运行环境中保护载物台的所有内部部件免受颗粒和灰尘的影响,从而确保更好的稳定性、耐用性和长期保持精度的能力。KA系列产品采用精密级滚珠丝杠、线性滑块导轨和高性能联轴器装置。这种设计对于环境相对复杂的精确作战场景具有良好的适应性。外部光栅尺与Zolix控制器MC600或TMC-USB配合使用,以确保1µm闭合循环分辨率。该系列的其他关键规格还与世界上较好的相同或相似。
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应用: Deep UV or Vacuum Ultraviolet 单色仪类型: UV Monochromator, Vacuum Monochromator 波长范围: 30 to 2200 nm 线性色散: 4 nm/mm 焦距: 200 mm
McPherson公司的234/302是一台焦距为200nm的像差校正真空单色仪。它提供1200 G/mm光栅的光谱分辨率(FWHM),入射角为32度,并具有可在0.01至3 mm范围内进行微米调节的精密狭缝。单色仪由一个波长计数器和一个手动操作的正弦驱动器组成,可提供精确且可重复的波长定位。它有一个微通道板和CCD适配器,可以使用计算机软件进行扫描。单色仪的光栅尺寸为40 X 45 mm,是深紫外和真空紫外应用的理想选择。
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应用: XUV, SXR or extreme UV applications 单色仪类型: UV Monochromator, Vacuum Monochromator 波长范围: 1 to 310 nm 线性色散: 0.025 to 1.6 nm/mm 焦距: 1000 mm
McPherson的248/310型是一种掠入射紫外单色仪,采用罗兰圆配置。该器件工作波长为1~310nm,焦距为1m,光谱分辨率高达0.16nm.它具有20mm×25mm的光栅尺寸,并且该单色仪上的掠射角提高了反射效率,从而确保了良好的聚焦和光谱分辨率。该单色仪由一个弦长仪组成,并具有一个可手动操作的波长驱动器,用于精确和可重复的波长定位。它配备了可调狭缝、真空光栅调焦、高精度波长驱动和滤光片插入滑块。根据应用,该仪器的入射角可以从84度到88度。它采用紧凑的外壳形式,是XUV、软X射线(SXR)和极端紫外线应用的理想选择。
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应用: Separation of monochromatic radiation, Study of light sources and detectors 单色仪类型: UV Monochromator 波长范围: 190 to 1200 nm 线性色散: 18.7 to 37.4 nm/mm 焦距: 44.2 mm
Topag Lasertechnik GmbH的ML44是一款光谱范围为190 nm-1200 nm的扫描单色仪。它具有从18.7到34.7(nm/mm)变化的线性色散倒数范围。该单色仪的孔径为f/2.9,闪耀波长高达700nm.它的光栅尺寸为25×20×6(mm),扫描速度为200-400nm/s.ML44具有可变的入口和出口狭缝,并且不具有平坦的输出场。它采用尺寸为154 X 114 X 147(mm)的紧凑型模块,是发射、荧光和拉曼光谱应用的理想选择。
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重量: 130 kg 接口: Reference sphere with bayonet interface 应用: 球体的非接触式测试和测量
标准设置,干涉仪模块位于花岗岩工作台底部,与Z轴对齐 - 测量球形部件的理想工具。 多种选件使这些测量设备能够适应不同的测量任务。 - 微型光学元件的测量范围可达直径60mm。 - 设计紧凑,可用于生产 安装在减震花岗岩台面上。带4个减震元件的被动减震系统。 全面的模块化系统允许所有轴的配置,在轴承(摩擦或交叉滚柱轴承)和通过滚珠丝杠主轴的工作台驱动(手动或电动)方面,可根据具体应用进行理想的定制。 OptoTech干涉仪模块 检查微型EL-F数字式,带60毫米扩束器 使用高质量的OptoTech 60mm基准球测量微光学元件,测量精度为 λ/20 - 集成数字位置传感器(海德汉线性光栅尺),分辨率为 1µm,用于测量测试半径。
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重量: 1600 kg 接口: 4“ or 6“ Bayonet-Interface (depending on interferometer module) 应用: 车间干涉仪 球面和非球面 光学元件
- 优化用于生产 测量支架由花岗岩制成,具有高的精度和刚度 - 不锈钢机器底座。被动式空气减震元件安装在稳定的钢制底座上。 - 3个带花岗岩塔架的被动空气减震元件,具有最高的精度和刚度。 - 弧度滑块,带无间隙预应力摩擦轴承,由伺服电机驱动。带无间隙预应力摩擦轴承的半径滑块,由伺服电机驱动。操纵杆用于变 操纵杆用于变速行走,最大行程1500mm。 - 三轴精密可调工作台(多种X/Y测量选项 三轴精密可调工作台) - 海德汉玻璃光栅尺,测量精度为5微米。海德汉玻璃光栅尺,总行程测量精度为5 µm,用于半径的绝对测量精度、 光栅尺靠近光轴安装(阿贝原理) - 通过激光对中测量半径轴(包括 测量协议) - 创新性地安装当前类型的干涉仪(MAHR MarOpto FI 1100 Z, Zygo 4 通过激光对中测量半径轴,包括测量协议。 英寸和6英寸,Äpre S100/150 HR),包括分析软件。 软件 - 通过镜子系统重新定向半径轴,节省空间 安装方便 - 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 PC 工作站
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重量: 1600 kg 接口: 4“ or 6“ Bayonet-Interface (depending on interferometer module) 应用: 用于测量球面和非球面光学元件的干涉仪
用于球面和非球面检测的高精度Fizeau车间干涉仪。 高精度运动学和高达150毫米的工作范围使该测量机成为高端光学产品生产不可或缺的工具。 测量支架由减震花岗岩制成,具有高的精度和刚度 被动空气减震元件安装在稳定的钢制底座上 半径滑块,带预载无间隙抗摩擦轴承,由伺服电机驱动,通过操纵杆变速,行程1050毫米 三轴工作台(可选配五轴工作台) 海德汉玻璃光栅尺,总行程测量精度为5 μm,实现半径的绝对测量精度,光栅尺安装在光轴附近(阿贝原理) 创新的、便于维护的现有类型干涉仪安装,包括分析软件(MAHR MarOpto FI 1100 Z、Zygo GPI/Verifire 4英寸和6英寸干涉仪)
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