QIS干涉仪完全由QED技术公司设计、制造和建造。它针对拼接进行了优化，使客户能够测量更多零件，并提高了精度、速度和易用性。QED的QIS集成了硬件和软件功能，旨在增强QED计量产品的性能。专有的QIS相干成像系统允许用户获得更高的条纹密度和更大的对比度。QIS先进的光学设计减少了常见的误差，如回扫和放大误差。此外，QIS提供的更大的焦点行程允许测量比通用干涉仪更短半径的零件。QIS也使用与QED的Q-Flex™MRF™系统相同的软件平台QED.NET进行设计。这使得系统之间的无缝通信成为可能。新的1920 X 1920像素，高分辨率相机可以提高点测量能力。这意味着您可以更准确地表征MRF移除函数，使您能够做出更好的制造工艺决策，并更快、更准确地实现收敛。

设计特点行程范围为100µm至600µm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供亚纳米级性能。各种行程（100µm至600µm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，这些载物台的设计旨在提供出色的几何性能（直线度和角度误差），同时较大限度地减小整个载物台封装尺寸、高分辨率和定位精度。所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括XY和Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。

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大的楔形窗口极大地减少或消除了由平面窗口的前后表面之间的多次反射引起的干涉效应。它们非常适合用作激光输出耦合器的衬底，其中来自第二表面的反射必须从非常敏感的激光器的增益介质中完全消除。大的楔形窗口也称为干涉仪平面。使用一对相同的楔形物来创建可调节的光束控制装置。圆形、方形和矩形窗户的尺寸和形状规格范围很广。

Amada Miyachi America为各种激光微加工应用提供广泛的激光源和系统平台，包括聚合物钻孔、陶瓷加工和切割锂离子电池电极。我们的内部应用实验室配备了飞秒、皮秒和纳秒激光源，以确保选择较适合应用的激光。这种特定的应用知识和技术诀窍构成了系统配置的基础，所有关键工艺特征都被理解并应用于较终解决方案中。Sigma超短脉冲激光微加工系统支持多种应用，包括激光钻孔、激光烧蚀和激光微切割。该系统可配置用于任何具有单波长或多波长光路的皮秒或飞秒激光器，具有多达4个线性和直接驱动台和数字扫描头，标准平台支持300x300mm XY平台。Sigma超短脉冲激光微加工系统旨在实现并保持高尺寸精度特性。作为综合系统质量保证测试的一部分，每个系统都使用我们的内部激光干涉仪进行测试。其他视觉选项可用于确保激光束位置和部件放置精度。

Polytec的TMS-150 TopMap Metro.Lab是一款精密白光干涉仪，具有大垂直测量范围、大视场和纳米分辨率。紧凑的3D工作站可在无接触的情况下轻松测量大型表面和结构的平整度、台阶高度和平行度，即使在柔软和精致的材料上也是如此。

TMS-350 TopMap In.Line的紧凑设计使其能够优雅而轻松地集成到生产线中。该系统测量形状偏差，如平面度或波度，无需接触，可靠且周期短。由于不需要物镜，避免了对光学器件或样品的碰撞和损坏。由于其特殊的光学设计，白光干涉仪可在安全的工作距离内以精确的台阶高度测量深孔内的均匀表面。

TMS-500 TopMap Pro.Surf和TMS-500-R TopMap Pro.Surf+是高精度、非接触式测量系统，具有大视场，可快速高效地对精密零件进行表面表征。TopMap Pro.Surf和Pro.Surf+集成了可跟踪校准的白光干涉仪，具有较大的垂直测量范围，可以精确表征陡峭边缘附近的表面，例如钻孔或具有较大台阶的零件。即使对于宏观样品，也可以快速检查平面度和平行度参数，并且具有极好的可重复性。额外的色度共焦传感器可在TopMap Pro.Surf+的单次测量中进行粗糙度评估。

5.2“Fizeau透射球，用于4”干涉仪-提供扩展的测量范围可用尺寸：F/0.7F/0.8F/1.1F/1.6F/2.5F/4.2f/6.4F/9.2F/5.9D平坦的

这些高性能UV光学元件是利用先进的CNC设备制造的。Zygo的GPI-XP干涉仪用于确保这些紫外光学器件的表面精度和性能。UV级镜片采用研究级合成熔融石英精密制造。除了提供优异的透射特性和更高的工作温度外，合成熔融石英镜片还具有优异的夹杂物规格和化学纯度。这些透镜是许多激光和成像应用的较佳选择，特别是那些涉及紫外线波长的应用。宽带抗反射涂层可用于优化紫外光谱中的吞吐量。

VIPs系列隔振平台是用于显微镜、干涉仪和其他振动敏感设备的全装配隔振平台。只需设置在一个平面上，连接一根空气管道，将您的仪器放在上面，不到5分钟，您就被隔离了。顶部表面没有孔。无需组装，无需布置软管，无需大惊小怪，也无需弄乱。工作表面由带有复合蜂窝芯的重型钢顶组成，以吸收仪器中产生的振动。全金属坚固结构，多年无故障服务。其特点包括0.1毫米的精密调平，低至2.5Hz的自然频率，3或4个隔离器系统，以及20–5000磅的承重能力。

Zygo的VeriFire™干涉仪系统可对普莱诺或球面以及光学系统和组件的透射波前进行快速高精度测量。测量玻璃或塑料光学元件（如平面、透镜和棱镜），甚至精密加工的金属和陶瓷表面。VeriFire™系统采用真正的激光斐索设计，扩展了Zygo在表面形状计量方面无与伦比的经验。轴上配置与Zygo的专利采集算法和全功能MX™计量软件相结合，可实现具有高级分析功能的高精度表面形状计量。

Zygo的VeriFire™HD干涉仪系统提供平面或球面的快速高分辨率测量，以及光学元件和组件的透射波前测量。干涉腔长度被精确调制，同时高速相机捕捉多个条纹图像，这些图像由软件进行分析，以创建被测零件的高度详细的测量结果。

Zygo的新型VeriFire HDX干涉仪专为极高性能光学元件和系统的中间空间频率成分表征而设计和制造。该系统包括广受欢迎的VeriFire HD的所有强大功能（如QPSI和长寿命稳定激光器），并增加了重要的增强功能，如新的同类较佳成像和高仪器传递函数（ITF）分辨率、中间空间频率内容和高斜率表面偏差的卓越特性，以及Zygo的DynaPhase®动态采集技术（可选），该技术可消除振动引起的问题，并在几乎任何环境中实现精密计量。

VFI-1200干涉仪是一种光纤端面检测系统，专为检查劈开、抛光或透镜光纤的表面质量和平整度而设计。接受125至1200um光纤直径。VFI-2000现已上市，适用于高达2000µm的更大直径光纤。

Virtual Reference™分析仪是基于我们的Virtual Reference™干涉仪专利技术的新一代色散测量仪器。这款出色的新解决方案可用于高精度光通道表征，与第三方可调谐激光系统（Agilent/Keysight 816xx系列可调谐激光器）配合使用，只需扫描一次可调谐激光器，即可测量群延迟、群速度色散和色散。