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材料: Calcite, a-BBO 传输波长范围: 400 - 700 nm 最大消光比: Not Available 波前失真: <= Lambda/4 表面质量: 20-10 scratch-dig
Glan Taylor偏振器由两个相同的双折射材料棱镜制成,这两个棱镜由空气间隔隔开。具有侧面逸出窗口的偏振器适用于低到中等功率的应用。Glan Taylor偏振器将入射的非偏振光束分成两束光线,一束是通过另一侧透射的非寻常光,另一束是被全内反射吸收的寻常光。Glan-Taylor偏振器被设计为去除光束的反射普通偏振分量的偏振器元件,大量的反射光通过侧端口离开偏振器,包括所有的普通光线和一些特殊光线。因此,逃逸光束不是完全偏振的,并且只有透射的非常光线应该用于需要高质量偏振光束的应用。它们仅被设计为与良好准直的光束一起工作;会聚和发散的输入光束将不会在内部界面处表现出适当的偏振和入射角。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 10mJ 平均功率: 60W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。
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混合气体: ArF 波长: 193 nm 脉冲能源: 15mJ 平均功率: 90W 最大重复率: 6000Hz
GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。