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运动轴: One 旅行范围: 300-1250mm 负载能力: 50kg 最大速度: 3000mm/s
强大的精密载物台将现代定位技术与强大的有效载荷能力相结合,将高精度性能包线扩展到包括高有效载荷和长行程应用。用于工作台定位的Lineax®直接驱动线性电机比传统的螺杆驱动工作台更具优势。直接驱动系统提供出色的轨迹控制。这些刚性、无弹性结构的特性可实现快速建立时间、高可重复性和较快的伺服响应。在没有旋转惯性的情况下,可以实现更快的加速度和更高的速度。消除了旋转部件的磨损,提高了可靠性,延长了正常运行时间,并延长了维修间隔,其中每一项都有助于降低拥有成本。带有高分辨率编码器的直接驱动线性电机可实现精确的速度调节。直线电机和其他部件INLINEAX可以准备真空兼容性。
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运动轴: Two 旅行范围: 50-600mm 负载能力: 15kg 最大速度: 2000mm/s
一种线性电机驱动台,适用于可靠的24/7操作、精确定位和易于使用的应用。多功能150 mm X 46 mm外壳非常适合许多仪器类型的机器和机器人设备。用于载物台定位的Lineax®直接驱动线性电机比传统的螺杆驱动载物台更具优势。直接驱动系统提供出色的轨迹控制。这些刚性、无弹性结构的性质使快速建立时间、高可重复性和较快的伺服响应成为可能。没有旋转惯性,可实现更快的加速度和更高的速度。消除了旋转部件的磨损,提高了可靠性,延长了正常运行时间,并延长了维修间隔,这些都有助于降低拥有成本。带有高分辨率编码器的直接驱动线性电机可实现精确的速度调节。
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运动轴: Two 旅行范围: 125-750mm 负载能力: 50kg 最大速度: 3000mm/s
无刷线性伺服电机驱动台,结合了非常高的速度和精密亚微米定位。这是高吞吐量和高要求线性运动应用的完美组合。用于工作台定位的Lineax®直接驱动线性电机比传统的螺杆驱动工作台更具优势。l直接驱动系统提供出色的轨迹控制。这些刚性、无弹性结构的特性使其具有更快的稳定时间、更高的可重复性和较快的伺服响应。在没有旋转惯性的情况下,可以实现更快的加速度和更高的速度。消除了旋转部件的磨损,提高了可靠性,延长了正常运行时间,并延长了维修间隔,其中每一项都有助于降低拥有成本。带有高分辨率编码器的直接驱动线性电机可实现精确的速度调节。LINEAX中的直线电机和其他组件可以准备真空兼容性。
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印刷技术: Grayscale Lithography 最小 XY 特征尺寸: 1000nm
LithoScale系统采用EV Group的MLE™无掩模曝光技术,通过结合强大的数字处理功能,实现实时数据传输和即时曝光、高结构分辨率和吞吐量可扩展性,从而解决传统瓶颈问题。其无掩模方法消除了与掩模相关的耗材,而带有可调固态激光源的曝光系统设计具有高冗余度和长寿命稳定性,并具有独特的自动校准功能,无需维护。强大的实时数字处理功能可实现从设计文件到基板的即时曝光,从而避免每个数字掩模布局的数小时转换时间。LithoScale具有整个基板表面的高分辨率(<2µm L/s)、动态芯片级可寻址曝光,可实现灵活的无耗材处理和低拥有成本(COO)。LithoScale系统集成了全晶圆顶部和背面对准,利用具有可见近红外功能的专用物镜和专有卡盘设计,可适应高达300 mm的晶圆尺寸。该系统具有自动聚焦的动态对准模式,以适应基板材料和表面变化。精细控制聚焦水平位置的能力保持侧壁陡峭以及抗蚀剂的期望3D轮廓,同时防止边缘顶部和底部。大工作距离和自动自适应聚焦确保整个曝光表面的图案均匀性。它还提供个性化的模具加工,同时快速全场定位和动态对准可实现各种基板尺寸和形状的高可扩展性。