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类型: White light interferometer 测量类型: Thickness 波长: 840 nm 应用: Thickness Measurement
Micro-Epsilon的IMS5400-TH45是一款白光干涉仪,专为工业厚度测量而设计。它可以测量0.035-1.4毫米的厚度,测量距离可达45毫米,频率可在100赫兹至6千赫兹之间连续调节。该干涉仪具有波长为840nm的NIR-SLED光源,甚至可以测量光学非致密物体(如抗反射镀膜玻璃)的厚度。IMS5400-TH45提供了与距离无关的测量的决定性优势,从而获得稳定的纳米精度厚度值。目标可以在其测量范围内移动而不影响精度。该干涉仪的厚度测量范围还允许测量薄层、平板玻璃和薄膜。它需要24 V直流电源,功耗为10 W.该干涉仪采用尺寸为Φ10 X 55 mm的铝制外壳。
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类型: White light interferometer 测量类型: Thickness 波长: 840 nm 应用: Thickness Measurement
Micro-Epsilon的IMS5400-TH70是一款白光干涉仪,专为工业厚度测量而设计。它可以测量0.035-1.4毫米的厚度,测量距离可达70毫米,连续可调速率为100赫兹至6千赫兹。该干涉仪具有波长为840nm的NIR-SLED光源,甚至可以测量光学非致密物体(如抗反射镀膜玻璃)的厚度。IMS5400-TH70提供了与距离无关的测量的决定性优势,从而获得稳定的纳米精度厚度值。目标可以在其测量范围内移动而不影响精度。该干涉仪的厚度测量范围还允许测量薄层、平板玻璃和薄膜。它需要24 V的直流电源,功耗为10 W.该干涉仪采用尺寸为Φ10 X 55 mm的铝制外壳。
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类型: Laser Interferometer 测量类型: Thickness, Length 波长: 632.8 nm 应用: Dimension Measurement, Gage Block Measurement
普惠测量系统公司(Pratt&Whitney Measurement Systems)的LMS200是一种激光干涉仪,通过将测量探头位置与632.8nm红色氦氖激光光源的波长进行比较来测量内部和外部尺寸。该专利激光路径与测量轴一致,消除了阿贝误差。它有一个花岗岩底座,其热膨胀系数比钢小十倍以上,使该干涉仪成为高度稳定的测量源。该干涉仪的精度为0.05+0.5Lµm,重复性为0.04µm.它的测量范围高达200 mm,直接读数范围为200 mm.LMS200干涉仪有一个碳化钨平板(1/10波)测量探头,带有Ø0.25金刚石尖端。探头是电动和远程控制的,以提高系统稳定性并消除操作员的影响。它可以测量最大尺寸为293 X 203 mm的样品,并具有14克的探针接触力。该干涉仪具有两步校准功能,这是一种先进的省时功能,允许使用两个实验室级别的可追踪量块进行校准,从开始到结束仅需30秒。它可以在直接读取或比较器模式下工作,并具有可编程自动循环功能,支持用户定义的恒定吞吐速率。该干涉仪根据命令存储所有测量结果的总和,并可显示统计数据,指示计算的平均值和一个标准偏差。LMS200需要110/120至220/240 V的交流电源,并消耗1-2 A的电流。它采用尺寸为56 X 41 X 79 cm的封装,非常适合测量球/球体、磁带/磁盘基板、光学元件、聚乙烯薄膜、量块/滑规、涂层厚度标准、塞规和销规、丝线、薄膜厚度、量块堆叠、网格厚度、纺织品和精密零件。
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重量: 825 kg 接口: 4” bajonett interface 应用: 非接触式测量球体
刚性花岗岩塔架,通过四个减震器被动隔振 - 用于无级调节测量工作台的操纵杆,线性滑轨采用无游隙轴承 - 工作台由伺服电机和滚珠丝杠主轴驱动 工作台由伺服电机和滚珠丝杠主轴驱动,速度可通过操纵杆调节(无级调节) - 手动微调,使用细牙螺杆,带 高精度滚柱导轨 - 3轴工作台(基本型机床只有Z轴;可选配不同的X-Y轴型号 不同的X-Y轴选项) - 各种干涉仪模块: MarOpto 4", Zygo VeriFire - 用于参考球的4 "卡口接口,与Zygo、Zeiss F-Aplanar等兼容。Zygo、Zeiss F-Aplanar等。
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重量: 1600 kg 接口: 4“ or 6“ Bayonet-Interface (depending on interferometer module) 应用: 车间干涉仪 球面和非球面 光学元件
- 优化用于生产 测量支架由花岗岩制成,具有高的精度和刚度 - 不锈钢机器底座。被动式空气减震元件安装在稳定的钢制底座上。 - 3个带花岗岩塔架的被动空气减震元件,具有最高的精度和刚度。 - 弧度滑块,带无间隙预应力摩擦轴承,由伺服电机驱动。带无间隙预应力摩擦轴承的半径滑块,由伺服电机驱动。操纵杆用于变 操纵杆用于变速行走,最大行程1500mm。 - 三轴精密可调工作台(多种X/Y测量选项 三轴精密可调工作台) - 海德汉玻璃光栅尺,测量精度为5微米。海德汉玻璃光栅尺,总行程测量精度为5 µm,用于半径的绝对测量精度、 光栅尺靠近光轴安装(阿贝原理) - 通过激光对中测量半径轴(包括 测量协议) - 创新性地安装当前类型的干涉仪(MAHR MarOpto FI 1100 Z, Zygo 4 通过激光对中测量半径轴,包括测量协议。 英寸和6英寸,Äpre S100/150 HR),包括分析软件。 软件 - 通过镜子系统重新定向半径轴,节省空间 安装方便 - 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 PC 工作站
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重量: 1600 kg 接口: 4“ or 6“ Bayonet-Interface (depending on interferometer module) 应用: 用于测量球面和非球面光学元件的干涉仪
用于球面和非球面检测的高精度Fizeau车间干涉仪。 高精度运动学和高达150毫米的工作范围使该测量机成为高端光学产品生产不可或缺的工具。 测量支架由减震花岗岩制成,具有高的精度和刚度 被动空气减震元件安装在稳定的钢制底座上 半径滑块,带预载无间隙抗摩擦轴承,由伺服电机驱动,通过操纵杆变速,行程1050毫米 三轴工作台(可选配五轴工作台) 海德汉玻璃光栅尺,总行程测量精度为5 μm,实现半径的绝对测量精度,光栅尺安装在光轴附近(阿贝原理) 创新的、便于维护的现有类型干涉仪安装,包括分析软件(MAHR MarOpto FI 1100 Z、Zygo GPI/Verifire 4英寸和6英寸干涉仪)
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重量: 2500 kg 应用: 多功能缝合干涉仪
新型多功能缝合干涉仪MSI 300专为测试直径达300毫米的高孔径球体而设计。可选配最大300毫米的平面光学测量仪 刚性花岗岩底座和无源空气轴承 Z轴调整中的高精度半径滑块 MAHR MarOpto FI 1100 Z干涉仪模块 带X/Y轴十字滑台的反向设计干涉仪模块 高分辨率旋转轴(B轴),用于在光路中定位高孔径球体 直接驱动旋转轴(C轴),用于旋转光路中的高孔径球和可选平面 标准工件夹头HD-40(可选配其他夹头) OptoTech Inspect Mini EL-F数字式4 "菲佐干涉仪模块(其它模块可根据要求提供) 设计紧凑,集成PC工作区 操作 传统(手动)或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制