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  • 准分子腔后视镜（XRM） 光学反射镜
    准分子腔后视镜（XRM）
    美国
    分类：光学反射镜
    厂商：Lambda Research Optics
    通光孔径: > 85% of diameter 厚度公差: < ± 0.25 mm 基底/材料: UV Grade CaF2, MgF2 表面质量: < 20 / 10 直径公差: < + 0.00 / – 0.20 mm

    有193纳米、248纳米和308纳米准分子激光器。这些波长可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。在这些波长下，建议使用氟化钙或氟化镁基板作为腔内透射光学元件。后腔反射镜在激光波长下的反射率至少为99.5%。请注意，Lambda 的高质量准分子激光器腔体涂层是专为耐酸/氟而设计的。