Optromix CL5000是一款紧凑型大功率激光，波长为193 nm、248 nm和308 nm。CL5000配备高电压开关——一种高源冷阴极闸流管。该激光器具有平均功率稳定系统和计算机控制，使用简单方便，CL5000可提供更长的混合气体持续时间。准分子激光是眼科系统的理想光源。它也是各种工业用途的一个很好的解决方案，例如在光纤中制造衍射结构、微标记、某些材料的加工和激光沉积。

Optromix CL5000是一款紧凑型大功率激光，波长为193 nm、248 nm和308 nm。CL5000配有高压开关-高源冷阴极闸流管。该激光器具有平均功率稳定系统和计算机控制，使用简单方便，CL5000可提供更长的混合气体持续时间。准分子激光是眼科治疗的理想光源。它也是各种工业用途的一个很好的解决方案，例如在光纤中制造衍射结构、微标记、某些材料的加工和激光沉积。

Optromix CL5000是一款紧凑型大功率激光，波长为193 nm、248 nm和308 nm。CL5000配有高压开关-高源冷阴极闸流管。该激光器具有平均功率稳定系统和计算机控制，使用简单方便，CL5000可提供更长的混合气体持续时间。准分子激光是眼科治疗的理想光源。它也是各种工业用途的一个很好的解决方案，例如在光纤中制造衍射结构、微标记、某些材料的加工和激光沉积。

Optromix CL7000KIS准分子激光器，波长193 nm、248 nm或308 nm，较大重复频率1000 Hz。它有远光灯。指向稳定性，较重要的是Optromix可以提供两种不同配置的激光系统，光束尺寸为16 mm X 5 mm或6 mm X 5 mm，具体取决于客户的要求。CL7000K具有突出的能量稳定特性，其脉冲能量稳定性西格玛为2%。我们的准分子激光器非常适合工业激光系统进行材料加工、微标记或激光喷涂。

Optromix InfraLight 7000准分子激光器193、248、308nm具有高脉冲能量，这允许各种应用的成功执行。其高科技金属陶瓷设计使激光独特且易于使用。准分子激光器配有长寿命闸流管开关，以控制电压放电。内置能量监测器使激光器始终在稳定的能量水平上运行，不会出现任何中断。此外，如今Optromix还提供较大重复率高达20 Hz的风冷版本。红外线7000准分子激光器非常适合科学和工业用途。使用我们的新型激光系统，可以进行光谱学、制造光纤中的衍射结构、材料加工和微标记。

Optromix InfraLight 7000准分子激光器193、248、308nm具有高脉冲能量，这允许各种应用的成功执行。其高科技金属陶瓷设计使激光独特且易于使用。准分子激光器配有长寿命闸流管开关，以控制电压放电。内置能量监测器可使激光器始终在稳定的能量水平上运行，而不会出现任何中断。此外，如今Optromix还提供较大重复率高达20 Hz的风冷版本。红外线7000准分子激光器非常适合科学和工业用途。使用我们的新型激光系统，可以进行光谱学、制造光纤中的衍射结构、材料加工和微标记。

Optromix InfraLight 7000准分子激光器193，248，308 nm具有高脉冲能量，可成功用于各种应用。其高科技金属陶瓷设计使激光器独特且易于使用。准分子激光器配有长寿命闸流管开关，可操纵电压放电。内置能量监视器允许激光器始终在稳定的能量水平上运行，而不会出现任何中断。此外，如今Optromix还提供较大重复率高达20 Hz的风冷版本。红外线7000准分子激光器非常适合于科学和工业用途。使用我们的新激光系统，可以进行光谱学、制造光纤中的衍射结构、材料加工和微标记。

Optromix CL7500是一款窄线宽准分子激光器，具有193 nm和248 nm两种波长选择。我们的准分子激光器有一个特殊的MOPA设计，这意味着它的配置包括主振荡器和功率放大器。波长可调谐，使准分子激光器在某些应用中表现出色。特别是具有高空间分辨率的激光诱导荧光光谱和处理材料。

Optromix CL7500是一款窄线宽准分子激光器，具有193 nm和248 nm两种波长选择。我们的准分子激光器有一个特殊的MOPA设计，这意味着它的配置包括主振荡器和功率放大器，此外，该激光器的关键特征之一是波长不稳定，这使得准分子激光器在某些应用中表现出色。特别是具有高空间分辨率的激光诱导荧光光谱和处理材料。

Optromix CL 7000PLD是波长为193 nm或248 nm的准分子激光器。它具有高达1J的高脉冲能量，用于材料加工，医学和生命科学。它具有稳定的能量输出，这是通过准分子激光器的能量稳定系统实现的。较重要的是，由于其金属陶瓷设计和闸流管开关，CL 7000PLD具有延长的使用寿命。内置能源监控器，使用简单方便。它是一种高效的光源，安装和操作简单。短脉冲长度和高光束质量是UV制造应用的极佳选择。

CLS5000是一款紧凑型193 nm准分子激光器。它还提供248 nm和308 nm波长的不同配置。由于其在定位和指向方面的额外功能，它具有出色的光束稳定性能，这使得CLS5000成为许多不同应用的理想解决方案。这种短波长激光器具有高重复率，这对于使用光掩模的材料烧蚀工艺和光学投影光刻非常重要。磁开关发生器和内置能量监控器使Optromix CLS5000非常友好和方便。

CEX-100是功率级别中较紧凑的准分子激光器。它被设计为一个空气冷却的单一单元，具有集成电源、交流输入线电压、长寿命闸流管、单气体光学器件和卤素兼容结构。

CEX-100是功率级别中较紧凑的准分子激光器。它被设计为一个空气冷却的单一单元，具有集成电源、交流输入线电压、长寿命闸流管、单气体光学器件和卤素兼容结构。

CEX-100是功率级别中较紧凑的准分子激光器。它被设计为一个空气冷却的单一单元，具有集成电源、交流输入线电压、长寿命闸流管、单气体光学器件和卤素兼容结构。

即用染料溶液作为一项特殊服务，我们提供随时可用的染料解决方案，可根据客户要求单独制作。但请注意：我们建议单独购买染料和溶剂，因为染料作为干粉比作为溶液具有更好的耐久性。

现在可以从其他几种不同的激光源获得UV光子，但是准分子激光器尽管有缺点，但仍然可以做其他激光器不能做的事情，并且在某些情况下（在近中心上有许多小孔），它们可以是经济的，因为它们使用掩模成像而不是单点钻孔。谐振腔配置产生对于近场成像理想的光束，并且激光束的高峰值功率允许在很少或没有热影响区的情况下烧蚀目标材料。193-351 nm光学波长范围允许在目标表面上生成高分辨率（~1µm）特征，浅吸收深度允许通过控制所施加的脉冲数量来严格控制特征深度。大的光束横截面可容纳用于近场成像的大成像掩模。光加工工程师在准分子激光合同制造和系统设计方面拥有丰富的经验。我们可以将定制配置与简单的成像集成，一直到多轴运动、复杂的光学系统和机器视觉。还可以通过净化光束传输将光学缩小2倍至30倍。准分子生产工具是完全封闭和联锁的，符合所有CDRH I类要求。集成气体柜确保气体管道的污染较小。所有准分子系统都使用光加工控制软件。我们设备齐全的准分子实验室使我们能够在系统设计和建造之前进行原理验证。通常使用工作频率高达200 Hz、平均功率为60 W的光机和相干准分子激光器KrF（248 nm），尽管更高功率的激光器可用于高通量应用。

105激光过滤器提供保护，免受准分子，紫外线和二氧化碳激光（190-400纳米10，600纳米）。有关框架和过滤器的更多信息，请参阅技术规格或联系我们。过滤器规格是永久刻印的。

稳定性和耐用性是准分子激光器较大的技术挑战，因为它使用氟、高压放电和深紫外线，所有这些都是高活性的。除了稳定性和耐用性外，用于光刻工具的准分子激光光源还需要激光束的高单色性和输出能量的高均匀性。作为世界上先进个满足所有这些要求的准分子激光光源，G10K自1997年上市以来，在光刻光源市场上赢得了极高的声誉。这一模式仍在世界各地的实地运作。

G20K具有高能量稳定性（±0.4%）和0.6 pm或更小的窄光谱带宽（FWHM），允许在高分辨率下曝光0.18µm几何结构。

用于0.13µm设计规则的2 kHz KrF准分子激光器