EUV光刻机面临的较大问题是解决RLS权衡：同时提高分辨率、线宽粗糙度（LWR）和光敏性。AL412旋涂辅助层材料已经显示出降低线边缘粗糙度（LER）和图案塌陷、平坦化形貌、保护下面的层免受高能EUV光子损伤、改善粘附性以及改善图案转移蚀刻选择性。

eSource Optics宽带VUV至UV光学分束器（BBVUVB）是金属VUV至UV宽带分束器光学涂层，设计用于在170nm至300nm VUV-UV波长范围内提供40%至50%的平均反射率和透射率（45度入射角（Aoi）无偏振）。eSource Optics宽带VUV到UV光学分束器（BBVUVB）可提供标准25.4mm和50.8mm直径。其他尺寸可根据要求提供。eSource Optics宽带VUV到UV光学分束器（BBUVB）是金属-电介质-金属（MDM）设计的薄膜涂层，作为未安装和开面VUV-UV分束器提供。开面宽带真空紫外到紫外光学分束器（BBUVB）是使用高纯度紫外级熔融石英衬底制造的，用于真空紫外到紫外波长170nm到300nm。所有VUV至UV光学分束器（BBVUVBS）基板均高度抛光至A=40-20划痕表面质量，平行度小于5弧分。

eSource Optics宽带VUV至UV光学分束器（BBVUVB）是金属VUV至UV宽带分束器光学涂层，设计用于在170nm至300nm VUV-UV波长范围内提供40%至50%的平均反射率和透射率（45度入射角（Aoi）无偏振）。eSource Optics宽带VUV到UV光学分束器（BBVUVB）可提供标准25.4mm和50.8mm直径。其他尺寸可根据要求提供。eSource Optics宽带VUV到UV光学分束器（BBUVB）是金属-电介质-金属（MDM）设计的薄膜涂层，作为未安装和开面VUV-UV分束器提供。开面宽带真空紫外到紫外光学分束器（BBUVB）是使用高纯度紫外级熔融石英衬底制造的，用于真空紫外到紫外波长170nm到300nm。所有VUV至UV光学分束器（BBVUVBS）基板均高度抛光至A=40-20划痕表面质量，平行度小于5弧分。

eSource Optics宽带VUV至UV光学分束器（BBVUVB）是金属VUV至UV宽带分束器光学涂层，设计用于在170nm至300nm VUV-UV波长范围内提供40%至50%的平均反射率和透射率（45度入射角（Aoi）无偏振）。eSource Optics宽带VUV到UV光学分束器（BBVUVB）可提供标准25.4mm和50.8mm直径。其他尺寸可根据要求提供。eSource Optics宽带VUV到UV光学分束器（BBUVB）是金属-电介质-金属（MDM）设计的薄膜涂层，作为未安装和开面VUV-UV分束器提供。开面宽带真空紫外到紫外光学分束器（BBUVB）使用高纯度紫外级熔融石英基板制造，用于真空紫外到紫外波长170nm到300nm。所有VUV至UV光学分束器（BBVUVBS）基板均高度抛光至A=40-20划痕表面质量，平行度小于5弧分。

作为高性能环绕式运动风格眼镜的绝佳选择，Protect Term-UV可提供超过OD6（光密度6）的高水平紫外线眼睛保护，适用于牙科和医疗类型的应用。低重量设计还允许调整侧臂长度和角度，以优化用户的舒适性和安全性。认证：GA 166-F CE，可见光透射率：89%，框架：黄色–蓝色，滤光片颜色：黄色。

多模光纤的纤芯直径、数值孔径（NA）和工作波长范围很广。我们使用较先进的拉丝塔生产硼硅酸盐纤维，这是迄今为止较受欢迎的纤维。我们使用高透射率的芯预制件来传输较亮的白光。这种光纤可批量购买，通常为1/4″直径19.5（或39）英尺长的光纤束。可用的NA-APOS有.22、.25、.55和.66。我们备有熔融石英（有时称为石英）光纤，用于传输紫外线和红外线，但价格较贵。我们备有以下标准纤芯尺寸的.22NA光纤，在光谱测定中很受欢迎：50um、100、200、400、600、1000和1500um。此外，这些纤芯尺寸中的一些可提供0.12、0.28、0.37和0.48的NA。塑料纤维是硼硅酸盐纤维的替代品。NA为0.50，可用于可见光/低热量应用。我们备有以下直径的光纤：250、500、750、1000、1500和2000um。氟化物（ZBLAN）、硫族化物、卤化银和蓝宝石等特殊光纤可用于中远红外应用。从可见光到红外，FSI的工程人员可以确定哪种材料较适合您的应用。

多模光纤的纤芯直径、数值孔径（NA）和工作波长范围很广。我们使用较先进的拉丝塔生产硼硅酸盐纤维，这是迄今为止较受欢迎的纤维。我们使用高透射率的芯预制件来传输较亮的白光。该光纤可批量购买，通常为1/4″直径19.5（或39）英尺长的光纤束。可用的NA-APOS有.22、.25、.55和.66。我们备有熔融石英（有时称为石英）光纤，用于传输紫外线和红外线，但价格较贵。我们备有以下标准纤芯尺寸的.22NA光纤，在光谱测定中很受欢迎：50um、100、200、400、600、1000和1500um。此外，这些纤芯尺寸中的一些可提供0.12、0.28、0.37和0.48的NA。塑料纤维是硼硅酸盐纤维的替代品。NA为0.50，可用于可见光/低热量应用。我们备有以下直径的光纤：250、500、750、1000、1500和2000um。氟化物（ZBLAN）、硫族化物、卤化银和蓝宝石等特殊光纤可用于中远红外应用。从可见光到红外，FSI的工程人员可以确定哪种材料较适合您的应用。

多模光纤的纤芯直径、数值孔径（NA）和工作波长范围很广。我们使用较先进的拉丝塔生产硼硅酸盐纤维，这是迄今为止较受欢迎的纤维。我们使用高透射率的芯预制件来传输较亮的白光。这种光纤可批量购买，通常为1/4″直径19.5（或39）英尺长的光纤束。可用的NA-APOS有.22、.25、.55和.66。我们备有熔融石英（有时称为石英）光纤，用于传输紫外线和红外线，但价格较贵。我们备有以下标准纤芯尺寸的.22NA光纤，在光谱测定中很受欢迎：50um、100、200、400、600、1000和1500um。此外，这些纤芯尺寸中的一些可提供0.12、0.28、0.37和0.48的NA。塑料纤维是硼硅酸盐纤维的替代品。NA为0.50，可用于可见光/低热量应用。我们备有以下直径的光纤：250、500、750、1000、1500和2000um。氟化物（ZBLAN）、硫族化物、卤化银和蓝宝石等特殊光纤可用于中远红外应用。从可见光到红外，FSI的工程人员可以确定哪种材料较适合您的应用。

氟化钙（CaF2）晶体在0.13~10μm的波长范围内具有良好的性能，光宽范围宽，从紫外（UV）到红外（IR）频率范围内都是透明的。氟化钙（CaF2）用于制造光学元件，如窗口和透镜，用于热成像系统、光谱学、准分子激光器、傅里叶分析、测试仪器、气体液体激光系统、天文望远镜、MIR/NIR成像系统等。

对于0.15μm-9μm范围内的光学窗口，氟化钙是很好的选择，其相对较软且有些吸湿，因此抛光、涂层和处理比UV熔融石英窗口更关键。此外，UV窗口的质量可能非常关键，为了不影响光学系统，它应该具有高纯度和抛光。氟化钙窗口也适用于宽范围的光谱。它特别适用于波长为2980nm的激光应用。由于其低折射率，氟化钙可以在没有抗反射涂层的情况下使用。

氟化钙透镜是制造用于UV至NIR波长（180nm-8微米）的透镜的材料的极佳选择。与各种IR材料相比，它具有高的平均透射率和低的色差。在近红外领域，它具有非常低的GVD，这使得它适合于使用飞秒红外脉冲的应用。氟化钙（CaF2）在紫外线范围内具有优异的透射率。通常用于需要从150nm到9000nm的高透射率的窗口。氟化钙可用于紫外、可见和红外光谱区。氟化钙在0.25µm和7µm之间具有90%以上的透射率。CaF2窗口相对较软且有些吸湿，因此抛光、涂层和处理比UV熔融石英窗口更关键。抛光表面稳定，在正常条件下可使用数年。氟化钙的硬度是氟化钡的两倍，也不易受到热冲击的影响。

CAS 140D是Instrument Systems公司在全球非常成功的高端阵列光谱仪系列的第四代产品。以前的型号CAS 140CT多年来一直被视为光谱辐射测量中测量精度的标准。现在，CAS 140D正在建立一个新的基准。它将CAS 140CT在测量精度和可靠性方面的所有优势与可持续技术优化相结合，以提高各种环境下的可重复性和稳定性。因此，它提供了更多的应用——从国家校准实验室的参考仪器到连续生产。各种附件补充光谱仪，为各种光谱辐射和光度测量任务创建一个完整的系统。得益于现代化的外壳和改进的光学和机械设计，该仪器功能更多，但体积更小，更易于集成到现有的测量环境中。CAS 140D的自动附件识别功能可快速轻松地更换各种测量适配器。在生产环境中，新的即插即用原则确保了高工艺可靠性。系统自动识别连接的附件，并确保仅使用当前有效的校准。CAS 140D的另一个新功能是光谱仪和控制计算机之间的可互换接口。根据测量任务，可通过USB、PCIe或以太网接口的插入式模块轻松更换接口。

硼酸铯锂（CsLiB6O10，CLBO）晶体是一种新型的紫外非线性光学晶体，在半导体检测、微加工、生物医学、紫外激光雷达等领域有着广泛的应用。与BBO相比，它具有更大的光谱和温度接受度、更大的角度容差和更小的走离角（见表1）。这些优点使得CLBO获得了比BBO更大的SHG转换效率。此外，它还适用于大功率Nd：YAG激光器的四倍频和四倍频。

紫外激光光束轮廓仪在工业应用中有着良好的记录，可用于半导体和显示器行业中加工激光材料的准分子激光器，以及Nd：YAG激光器的三次、四次和五次谐波。该产品的基本系统由基于UV探测器的相机和先进的BeamLux II软件组成。根据有效面积，可以测量从10um到100mm的光束直径。

紫外激光束轮廓仪在工业应用中有着良好的记录，可用于半导体和显示器行业中加工激光材料的准分子激光器，以及Nd：YAG激光器的三次、四次和五次谐波。该产品的基本系统由基于紫外探测器和高级BeamLux II软件的相机组成。根据有效面积，可以测量从10um到100mm的光束直径。

紫外激光光束轮廓仪在工业应用中有着良好的记录，可用于半导体和显示器行业中加工激光材料的准分子激光器，以及Nd：YAG激光器的三次、四次和五次谐波。该产品的基本系统由基于UV探测器的相机和先进的BeamLux II软件组成。根据有效面积，可以测量从10um到100mm的光束直径。

每台细胞分析仪的核心都是高精度石英玻璃流通式比色皿，其通道非常精细。该通道为流体系统提供了稳定性，使其能够对单个细胞或颗粒进行精确的光学分析。在Hellma Analytics，细胞分析仪试管的生产利用了超过95年的玻璃和石英组件生产经验。由于我们使用了先进的玻璃加工技术，我们能够制造微通道、血细胞计数器比色皿，其具有抛光的通道表面，并由无荧光材料制成，定制尺寸小至50μm X 50μm。始终如一的高生产质量保证了较大的再现性和较小的公差。我们卓越的生产专业知识与我们较先进的生产机械相结合，使我们能够制造各种圆锥形状的比色杯，以及根据客户要求定制的解决方案。

每个细胞分析仪的核心都是一个高精度的石英玻璃流通比色皿，它有一个非常精细的通道。该通道为流体系统提供了稳定性，使其能够对单个细胞或颗粒进行精确的光学分析。在Hellma Analytics，细胞分析仪试管的生产利用了超过95年的玻璃和石英组件生产经验。由于我们使用了先进的玻璃加工技术，我们能够制造微通道、血细胞计数器比色皿，其具有抛光的通道表面，并由无荧光材料制成，定制尺寸小至50μm X 50μm。始终如一的高生产质量保证了较大的再现性和较小的公差。我们卓越的生产专业知识与我们较先进的生产机械相结合，使我们能够制造各种圆锥形状的比色杯，以及根据客户要求定制的解决方案。

Hellma Analytics生产各种比色皿，用于光谱学和细胞计量术，光程长度范围为0.01 mm至100 mm及以上。由于Hellma比色皿在用于吸光度和荧光测量时的稳定性、较大精度和可靠性，Hellma比色皿在实验室的广泛领域中工作得非常好。凭借1μm的表面平整度，我们的石英窗在比色杯生产中树立了标杆。更重要的是，功能优化的斜边和斜角设计可防止因分裂而造成的损坏风险，并有助于用户的日常工作。根据要求，我们能够生产为特定应用领域设计的定制模型。

每台细胞分析仪的核心都是高精度石英玻璃流通式比色皿，其通道非常精细。该通道为流体系统提供了稳定性，使其能够对单个细胞或颗粒进行精确的光学分析。在Hellma Analytics，细胞分析仪试管的生产利用了超过95年的玻璃和石英组件生产经验。由于我们使用了先进的玻璃加工技术，我们能够制造微通道、血细胞计数器比色皿，其具有抛光的通道表面，并由无荧光材料制成，定制尺寸小至50μm X 50μm。始终如一的高生产质量保证了较大的再现性和较小的公差。我们卓越的生产专业知识与我们较先进的生产机械相结合，使我们能够制造各种圆锥形状的比色杯，以及根据客户要求定制的解决方案。