-
旅行范围: 25mm 负载能力: 12kg 负载能力: 0.5kg
伊林的25毫米平台设计用于定位中等重量的负载,具有高度的准确性和稳定性。两轴和三轴定位组件可通过直接用螺栓将平台连接在一起,并在必要时使用其中一个伊林直角支架来支撑第三个平台来构建。所有线性平台都具有由单件铝合金加工而成的定位器主体,以较轻的重量提供卓越的刚性。操作的准确性和平稳性是通过使用预加载的高精度滚珠轴承滑块来实现的,并在组装过程中进行单独调整和测试。弹簧加载的导轨保持平移台和致动器驱动头之间的接触,确保没有“静摩擦”和反冲。Ealing 25 mm侧面驱动线性载物台配有高质量的千分尺,该千分尺在整个25 mm行程(1/2分度等于5μm)上清楚地标记为0.01 mm精度。千分尺驱动器可以用电机驱动器或编码器驱动器致动器代替,以实现更精确的电动定位控制。可提供公制或英寸孔型的密封侧驱动级。访问我们的网站了解更多信息
-
传感器类型: InGaAs Array # 像素(宽度): 1024 # 像素(高度): 1 像素大小: 12.5um 峰值量子效率: 82%
LineCAM12是一款先进的行扫描相机,在USB3或Camera Link输出上以37Klines/s的速度提供14位数字数据。相机目前有两种类型:用于光谱学的250um高像素和用于机器视觉应用的12.5um方形像素。相机具有令人难以置信的多功能性,可实现从75Ke-到100Me-的全阱,具有128个变化步骤以及从10μs到150s的积分时间。片内光学像素分箱(其中每隔一个探测器相邻像素)可通过命令以光谱分辨率换取更高的信号电平。还可通过简单的命令结构激活,在同一相机平台中以512分辨率实现48klines/s的像素跳跃或面元划分。TEC稳定相机具有31个非均匀性校正(NUC)表,其中15个为工厂设置,16个为用户定义的表,以实现给定环境的灵活性。这种晶格匹配的InGaAs阵列是背照式的,能够在0.4到1.7um的范围内进行检测,没有焊盘或导线妨碍信号,并较大限度地减少正面照明阵列中的杂散反射,该阵列在有源成像区域附近有许多导线键合。该阵列可以定制,以允许在有源探测器区域放置滤光器,这在正面照明设备中几乎是不可能的。我们展示了该设备与Metaphase的光源一起工作。
-
印刷技术: Grayscale Lithography 最小 XY 特征尺寸: 1000nm
LithoScale系统采用EV Group的MLE™无掩模曝光技术,通过结合强大的数字处理功能,实现实时数据传输和即时曝光、高结构分辨率和吞吐量可扩展性,从而解决传统瓶颈问题。其无掩模方法消除了与掩模相关的耗材,而带有可调固态激光源的曝光系统设计具有高冗余度和长寿命稳定性,并具有独特的自动校准功能,无需维护。强大的实时数字处理功能可实现从设计文件到基板的即时曝光,从而避免每个数字掩模布局的数小时转换时间。LithoScale具有整个基板表面的高分辨率(<2µm L/s)、动态芯片级可寻址曝光,可实现灵活的无耗材处理和低拥有成本(COO)。LithoScale系统集成了全晶圆顶部和背面对准,利用具有可见近红外功能的专用物镜和专有卡盘设计,可适应高达300 mm的晶圆尺寸。该系统具有自动聚焦的动态对准模式,以适应基板材料和表面变化。精细控制聚焦水平位置的能力保持侧壁陡峭以及抗蚀剂的期望3D轮廓,同时防止边缘顶部和底部。大工作距离和自动自适应聚焦确保整个曝光表面的图案均匀性。它还提供个性化的模具加工,同时快速全场定位和动态对准可实现各种基板尺寸和形状的高可扩展性。