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类型: Laser System 技术: Excimer Laser, Gas Laser 工作模式: Pulsed Laser 超快激光: Nanosecond Lasers 可调谐: No
来自GAM激光器的EX5是波长为157、193、248、308、351nm的激光器,功率为0.4至0.65W、2.5至5W、4至8W、1.4至2.5W、1.3至2.4W(F2、ARF、KrF、XeCl、XeF),输出功率(脉冲)为0.4至0.65W、2.5至5W,1.3至2.4W(F2、ARF、KrF、XeCl、XeF),脉冲能量1.5、12、20、8、6mJ(F2、ARF、KrF、XeCl、XeF)。EX5的更多细节可以在下面看到。
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类型: Laser System 技术: Excimer Laser, Gas Laser 工作模式: Pulsed Laser 超快激光: Nanosecond Lasers 可调谐: No
来自GAM激光器的EX50是波长为157、193、248、308、351nm的激光器,功率为0.5至1W、5至10W、10至20W、5至10W,5至9W(F2、ARF、KrF、XeCl、XeF),输出功率(脉冲的)为0.5至1W,5至10 W,10至20W,5至9W(F2,ARF,KrF,XeCl,XeF),脉冲能量2.5,35,50,22,20mJ(F2,ARF,KrF,XeCl,XeF)。EX50的更多细节可以在下面看到。
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类型: Laser System 技术: Excimer Laser, Gas Laser 工作模式: Pulsed Laser 超快激光: nanosecond Lasers 可调谐: No
来自GAM Laser的EX50LN是波长为157、193.3、248.35、308至311nm、351至533nm的激光器,功率为0.3至1.5W、0.75至4W、0.3至2W(ARF/KrF/XeCl),输出功率(脉冲的)为0.3到1.5W,0.75到4W,0.3W到2W(ARF/KrF/XeCl),脉冲能量为10mJ(F2,ARF,KrF,XeCl,XeF)。EX50LN的更多细节可以在下面看到。