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真空兼容: Yes 内置控制器: Yes 范围: 0.19degrees 单向精度: 360degrees 重复性: <0.5 degrees
Zaber的X-RSB-E系列旋转台具有120 mm工作台直径和50.8 mm(2英寸)孔径。它们占地面积小,外形扁平,负载能力高达50公斤。这些旋转台的较大转速为300 rpm,非常适合在几分之一度的范围内快速定位轻负载。它们是需要标准24 V或48 V电源的独立装置。内置电机编码器允许闭环操作和打滑/失速恢复功能。有两种电机配置可供选择:向上和向下。电机向上配置允许将设备齐平安装在平坦表面上,电机向下配置允许超过载物台顶部边缘的负载进行360°移动。索引旋钮提供了方便的手动控制,即使在没有计算机的情况下也能进行多功能操作。这些级连接到任何计算机的RS-232端口或USB端口,并且它们可以与任何其他Zaber产品进行菊花链连接。菊花链还可以共享电源,使多个X系列产品可以共享一个电源。设备上方便锁定的4针M8连接器可确保设备之间的安全连接。与Zaber的所有产品一样,X-RSB-E系列采用“即插即用”设计,非常易于设置和操作。
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微步尺寸: 105um 内置控制器: Yes 旅行范围: 0.105mm 反冲: Not Specified 运动轴: Three
致动器提供非常坚硬的设计,能够产生高达1000N(MTP-15)的阻挡力。这一特性使致动器能够在Z轴上驱动较大10kg(MTP-15)的负载。在标称范围内驱动MTP执行器只需要一个0V至120VDC高压放大器。但是,如果需要,可以通过使用-30V至150VDC的高压放大器来实现额外的范围。如果需要小尺寸和闭环性能,MTP可以与Queensgate的位置测量系统结合使用。这提供了用于亚纳米精度的电容性位置感测,具有与致动器独立放置传感器的优点。这允许将传感器板自由地安装在主机固定装置上的任何方便的点。
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Nano-P系列是压电驱动、闭环、线性纳米定位器,采用独特的柔性铰链设计。使用先进的放电加工工艺,柔性铰链完全由单块高强度钛加工而成。该铰链首次在管状压电纳米定位器上使用,确保了较高程度的可重复性和负载能力。与市场上外观类似的产品不同,Nano-P系列没有内置碟形弹簧。贝氏弹簧不是无摩擦的,因此不能提供真正的纳米精密定位器的高度可重复性。纳米P系列的导向机构是一个真正的弯曲弹簧-消除机械摩擦和静摩擦。Nano-P系列由Invar和钛制成,具有热稳定性和机械强度的较佳组合,是较苛刻的纳米定位和计量应用的理想选择。Nano-P系列提供三种标准运动范围,集成位置传感器,采用专有的PicoQ®技术,在闭环控制下提供皮米精度的绝对、可重复位置测量。提供定制系统。
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光源类型: Pulsed LED 光源波长: 460nm 样品反射率: 1 - 100 % 垂直范围: 115nm 有效值重复性: <0.005 nm
NanoCam SQ动态光学轮廓仪可测量超光滑光学和精密表面的表面粗糙度。非接触式NanoCam SQ是对传统工作站光学轮廓仪所需的杂乱复制方法的巨大改进,并为测量大型光学器件提供了出色的便携性。通过启用机器上的粗糙度计量,NanoCam SQ提高了产量。通过消除运输昂贵的关键任务光学器件的需要,NanoCam降低了损坏的风险。NanoCam SQ光学轮廓仪采用动态干涉测量法(Dynamic Interferometry®),集成了高速光学传感器,测量速度比传统光学轮廓仪快数千倍。由于采集时间非常短,NanoCam SQ可以在振动的情况下进行测量,因此可以将仪器安装在抛光设备、台架或机器人末端执行器上。NanoCam SQ结构紧凑,重量轻,可直接放置在大型光学器件上。有了这种定位的自由度,NanoCam可以测量大型光学器件上任何位置的表面光洁度。NanoCam SQ动态光学轮廓仪包括4Sight高级分析软件。业界领先的4Sight报告ISO 25178表面粗糙度参数(S参数),并提供广泛的2D和3D分析选项、数据过滤、屏蔽、数据库和导入/导出功能。