-
印刷技术: Grayscale Lithography 最小 XY 特征尺寸: 1000nm
LithoScale系统采用EV Group的MLE™无掩模曝光技术,通过结合强大的数字处理功能,实现实时数据传输和即时曝光、高结构分辨率和吞吐量可扩展性,从而解决传统瓶颈问题。其无掩模方法消除了与掩模相关的耗材,而带有可调固态激光源的曝光系统设计具有高冗余度和长寿命稳定性,并具有独特的自动校准功能,无需维护。强大的实时数字处理功能可实现从设计文件到基板的即时曝光,从而避免每个数字掩模布局的数小时转换时间。LithoScale具有整个基板表面的高分辨率(<2µm L/s)、动态芯片级可寻址曝光,可实现灵活的无耗材处理和低拥有成本(COO)。LithoScale系统集成了全晶圆顶部和背面对准,利用具有可见近红外功能的专用物镜和专有卡盘设计,可适应高达300 mm的晶圆尺寸。该系统具有自动聚焦的动态对准模式,以适应基板材料和表面变化。精细控制聚焦水平位置的能力保持侧壁陡峭以及抗蚀剂的期望3D轮廓,同时防止边缘顶部和底部。大工作距离和自动自适应聚焦确保整个曝光表面的图案均匀性。它还提供个性化的模具加工,同时快速全场定位和动态对准可实现各种基板尺寸和形状的高可扩展性。
-
中心波长: 1.55um 输出功率: 60mW
Pure Photonics是EMC核心可调谐外腔激光器(ECL)技术的增值分销商。Pure Photonics为电信行业改进了这款卓越且经过现场验证的可调谐激光器,以满足高信噪比应用的严格要求。该产品采用AnitlaformFactor,确保轻松的数字通信和控制,并具有优化的固件和电子配置,以实现卓越的性能。Pure Photonics可调谐激光器解决方案是一种经过现场验证的高容量电信激光器,适用于通常由手工定制解决方案解决的高要求应用。该技术不仅提供了与现有解决方案相当的光学性能,而且还具有极小的外形尺寸和超过35nm的调谐范围。可调性使我们的用户能够提供具有增强功能的产品(例如,多个元件的环境传感),并显著降低交付周期和库存成本。
-
运动轴: Two 旅行范围: 25mm 负载能力: 10kg 最大速度: 1100mm/s
Dover Motion MMX系列微型线性舞台集先进性能、可靠性和价值于一身。高功率MMX具有更高的力密度,可提供5倍于同类竞争产品的力。舞台设计采用高精度防爬行交叉滚柱导轨,在扁平封装中实现极其平稳的运动、高刚度和可靠性。其无刷线性伺服电机可实现高速运行,无需维护,非常适合用于高吞吐量应用。微型线性平台可以组合成多轴组件,包括具有整体恒力磁性平衡的Z配置。对于25 mm旅行版本,可使用单相电机,以降低放大器成本,降低复杂性,并获得更紧凑的尺寸。MMX有一个完全无铁的电机,以提供无齿轮的平滑运动。微型线性平台还使用简单的可调支架提供外部可调限位传感器。舞台采用黑色阳极氧化铝表面处理。