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  • 美国
  • Brewer Science Inc
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  • Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料 设计与制造
    美国
    分类:设计与制造
    服务类型: Engineering design

    EUV光刻机面临的较大问题是解决RLS权衡:同时提高分辨率、线宽粗糙度(LWR)和光敏性。AL412旋涂辅助层材料已经显示出降低线边缘粗糙度(LER)和图案塌陷、平坦化形貌、保护下面的层免受高能EUV光子损伤、改善粘附性以及改善图案转移蚀刻选择性。