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    这是我们较受欢迎的中型系统,因为III-V和光子器件领域在比当前Si开发需求更小的晶片和批量尺寸下运行,这使得清洁泵送、手动装载的简单系统非常适合研发和生产。室18-22直径X 24-30高通常,更大的要求。CTI-8低温,双级旋转叶片式前级泵,一个速率控制器,多过程,热阻源可选,强大的PLC自动化与全手动操作,所有电动气动阀,SS歧管,电动起重机,各种夹具,包括旋转圆顶,行星齿轮和专用冷却,加热,阴影,提升。衬垫,RGA其他选项。