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这是我们较受欢迎的中型系统，因为III-V和光子器件领域在比当前Si开发需求更小的晶片和批量尺寸下运行，这使得清洁泵送、手动装载的简单系统非常适合研发和生产。室18-22直径X 24-30高通常，更大的要求。CTI-8低温，双级旋转叶片式前级泵，一个速率控制器，多过程，热阻源可选，强大的PLC自动化与全手动操作，所有电动气动阀，SS歧管，电动起重机，各种夹具，包括旋转圆顶，行星齿轮和专用冷却，加热，阴影，提升。衬垫，RGA其他选项。