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运动距离: 12um 决议: 0.03nm压电环形致动器由大量接触的陶瓷圆盘组成。与管式作动器相比，环形作动器的刚度更高，膨胀量是管式作动器的两倍。环形作动器有带外壳的（RA系列）和不带外壳的（R系列）。无外壳的执行机构仅在陶瓷顶部和接地板处连接。带外壳的执行机构在钻孔处用螺钉固定。没有外壳的环形致动器只能用于具有额外预载的动态应用中。RA系列的环形致动器可根据要求提供应变仪反馈传感器。
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运动距离: 12um 决议: 0.03nm压电环形致动器由大量接触的陶瓷环组成。基于他们的设计，他们提供了9毫米或14毫米的自由孔径。这使得它们特别适合集成到激光光束线中。环形执行机构有带外壳的RA系列和不带外壳的R系列。R系列执行机构没有预加载。对于动态应用，必须对这些致动器进行预加载。RA系列执行器由机械弹簧进行内部预加载，使其成为动态应用的理想选择。配备应变计传感器的闭环版本也是可用的。
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运动距离: 2um 决议: 0.004nmPZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能。基于其设计，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。
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运动距离: 4um 决议: 0.008nmPZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能。基于其设计，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。
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运动距离: 9um 决议: 0.02nm凭借Microtritor和Minitritor系列，Piezosystem Jena提供较小尺寸的3D纳米定位平台。15x15x15 mm3的尺寸和每轴9µm的运动范围使Microtritor成为市场上较小的3D载物台。柔性铰链的独特设计可实现零摩擦的出色可用性。Minitritor的尺寸为19x19x16 mm3，可实现每轴38µm的行程。铰链挠曲设计提供完全无摩擦的运动，而没有任何机械游隙。高刚度与出色的运动平直度相结合，使TRITOR系列成为光学、激光技术和任何其他类型的高分辨率定位应用中纳米范围内高精度定位的理想选择。
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运动距离: 10um 决议: 0.02nmPZ 10压电齿轮台提供高达10μm的垂直行程。作为固态现象的结果，分辨率实际上是无限的，低至亚纳米范围。基于柔性铰链的有限元分析设计的驱动系统保证了良好的制导精度，没有寄生运动。PZ 10级的耐用性使其成为工业应用中永久使用的绝佳选择。
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微步尺寸: 0.00009um 内置控制器: Yes 旅行范围: 0.026mm 反冲: Not Specified 运动轴: Three较佳纳米定位的精度、准确度和速度。DPT-E系列致动器采用电容反馈控制设计，以提供精确定位。DPT-E执行机构是较苛刻应用的理想选择。执行机构能够在其整个行程范围内移动高达60 kg的负载。低电子噪声和高线性度，确保致动器精确、快速和准确地定位。超级不胀钢结构提供了高的热稳定性，并提供了优越的位置稳定性。DPT-E是高压DPT-C系列执行器的低压替代品。尺寸与DPT-C系列相同，行程范围至少增加了25%，动态性能也得到了增强。
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微步尺寸: 105um 内置控制器: Yes 旅行范围: 0.105mm 反冲: Not Specified 运动轴: Three致动器提供非常坚硬的设计，能够产生高达1000N（MTP-15）的阻挡力。这一特性使致动器能够在Z轴上驱动较大10kg（MTP-15）的负载。在标称范围内驱动MTP执行器只需要一个0V至120VDC高压放大器。但是，如果需要，可以通过使用-30V至150VDC的高压放大器来实现额外的范围。如果需要小尺寸和闭环性能，MTP可以与Queensgate的位置测量系统结合使用。这提供了用于亚纳米精度的电容性位置感测，具有与致动器独立放置传感器的优点。这允许将传感器板自由地安装在主机固定装置上的任何方便的点。
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微步尺寸: 1um 内置控制器: Yes 旅行范围: 0.016mm 反冲: Not Specified 运动轴: ThreeNPS-Z-15L是一款针对高负载应用而优化的压电扫描台。NPS-Z-15L提供超过15μm的闭环行程，具有亚纳米分辨率和稳定性。该平台专为高刚度设计，可承载高达500 kg的负载。优化的机械设计产生了空载谐振频率大于8000Hz的器件。超级殷钢结构意味着舞台具有非常高的热稳定性和环境稳定性。通过闭环PID电子设备进行动态优化，较大限度地提高系统的现场步进响应和位置稳定性。电子配置可提供多达3个或6个阶段的独立控制，非常适合大型光学器件或晶片/掩模器件的对准/调平。
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微步尺寸: 6.4um 内置控制器: Yes 旅行范围: 12mm 反冲: Not Specified 运动轴: OneUSB-Slide是一种成本相对较低的精密线性运动系统。该系统仅由标准USB端口供电和控制，提供了尺寸、简单性和易用性无与伦比的线性运动控制方法。
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微步尺寸: 0.05um 内置控制器: Yes 旅行范围: 10mm 准确性: 0.1um 反冲: <6 umEncoderDriver线性驱动器套件提供10 mm、13 mm、25 mm和50 mm ( 0.375英寸、0.5英寸、1英寸和2英寸)行程范围，适用于Ealing量程的千分尺驱动级。10毫米驱动器提供了一个固定的球形尖端，所有其他都提供了可互换的球形和平面尖端。每个编码器驱动器组件包括编码器驱动器、3 m延长电缆和子板驱动模块。该子板驱动模块直接插入到EncoderDriver控制卡中。EncoderDriver Actuators可单独用于OEM应用程序。
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微步尺寸: 0.02um 内置控制器: Yes 旅行范围: 13mm 准确性: 0.1um 反冲: <6 um编码器驱动器线性致动器封装可提供10 mm、13 mm、25 mm和50 mm（0.375英寸、0.5英寸、1英寸和2英寸）的行程范围，以适应Ealing系列的微米驱动级。10 mm致动器配有不可拆卸的球形高端，所有其他致动器配有可互换的球形和扁平高端。每个编码器驱动器致动器封装包括编码器驱动器致动器、3米延长电缆和子板驱动模块。该子板驱动模块直接插入编码器驱动器控制卡。编码器驱动器执行器可单独用于OEM应用。
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微步尺寸: 0.1um 内置控制器: No 旅行范围: 13mm 反冲: <6 um 最高速度: 15mm/s电机驱动器执行器的行程范围为10 mm、13 mm、25 mm和50 mm（0.375英寸、0.5英寸、1英寸和2英寸），以适应MicroMech™Minimech™和MacroMech™系列的各种微米级驱动平台。10毫米行程单元被小型化，主体直径仅为12.7毫米（0.5英寸）。对于直径为19毫米（0.75英寸）的电动驱动器，较长的行程装置仍然很紧凑。10 mm微型致动器配有不可互换的球形高端。所有其他的都具有可互换的球形或扁平高端，两者都与装置一起提供。每个电机驱动器执行器都需要自己的手动控制装置，这些装置将在以下几页中介绍。电机驱动器执行器系列的尺寸和规格如下所示。
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微步尺寸: 0.1um 内置控制器: No 旅行范围: 25mm 反冲: <6 um 最高速度: 15mm/s电机驱动器执行器的行程范围为10 mm、13 mm、25 mm和50 mm（0.375英寸、0.5英寸、1英寸和2英寸），以适应MicroMech™Minimech™和MacroMech™系列的各种微米级驱动平台。10毫米行程单元被小型化，主体直径仅为12.7毫米（0.5英寸）。对于直径为19毫米（0.75英寸）的电动驱动器，较长的行程装置仍然很紧凑。10 mm微型致动器配有不可互换的球形高端。所有其他的都具有可互换的球形或扁平高端，两者都与装置一起提供。每个电机驱动器执行器都需要自己的手动控制装置，这些装置将在以下几页中介绍。电机驱动器执行器系列的尺寸和规格如下所示。
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微步尺寸: 0.1um 内置控制器: No 旅行范围: 10mm 反冲: <6 um 最高速度: 15mm/s电机驱动器执行器的行程范围为10 mm、13 mm、25 mm和50 mm（0.375英寸、0.5英寸、1英寸和2英寸），以适应MicroMech™Minimech™和MacroMech™系列的各种微米级驱动平台。10毫米行程单元被小型化，主体直径仅为12.7毫米（0.5英寸）。对于直径为19毫米（0.75英寸）的电动驱动器，较长的行程装置仍然很紧凑。10 mm微型致动器配有不可互换的球形高端。所有其他的都具有可互换的球形或扁平高端，两者都与装置一起提供。每个电机驱动器执行器都需要自己的手动控制装置，这些装置将在以下几页中介绍。电机驱动器执行器系列的尺寸和规格如下所示。
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微步尺寸: 0.047625um 内置控制器: Yes 旅行范围: 25.4mm 准确性: 15um 反冲: <4 um如需了解更多有关真空系统的基础知识以及在收集应用要求时需要考虑的事项，请阅读我们的技术文章“真空应用的运动设备设计注意事项”。