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  356型光刻机紫外线强度和能量计，带9点记忆

  美国

  分类：激光能量计

  厂商：OAI

  最大可测量能量: 9999mJ 光谱范围: 356 - 456 um

  用于接触掩模对准器的356型光刻UV强度和能量计是一种基于微处理器的监视器，允许存储和调用从曝光系列（400 MW/cm2，9999 MJ/cm2，较大9999秒）收集的多个曝光参数（强度、能量和时间）。它计算百分比偏差并平均能量。对于220、254、260、310、365、380、400、420、436和540nm波长。其他波长也是可用的。

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  457型紫外线强度和能量计

  美国

  分类：激光能量计

  厂商：OAI

  最大可测量能量: 9999mJ 光谱范围: 0.365 - 0.436 um

  457型紫外光强度和能量系统专为与ASML、佳能、尼康和GCA&Rudolph Technology晶圆步进机配合使用而设计，可精确描绘曝光能量（剂量），以评估步进机的性能。它读取400和420 nm波长的强度、能量和时间（16-1600 MW/cm²，999.9 MJ/cm²）。可选的RS232电缆可与457软件配合使用，将剂量数据发送到计算机。

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  458型用于晶圆步进机的紫外线高强度和能量测量仪

  美国

  分类：激光能量计

  厂商：OAI

  最大可测量能量: 9999mJ 光谱范围: 0.365 - 0.436 um

  基于微处理器的458型UV光强度和能量系统精确地描绘曝光能量（剂量），以评估步进机的性能。它设计用于ASML高强度、佳能、尼康和Ultratech高强度晶片步进机。读取365、400、420和436 nm波长的强度、能量和时间（4000 MW/cm²，999.9 MJ/cm²）。可选的RS232电缆可与458软件配合使用，将剂量数据发送到计算机。