新工具可同时测量等离子光源和光色，提高微芯片生产水平
发布时间：2023-09-14 10:00:47 阅读数： 57
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MESA+ 纳米技术研究所的研究人员开发了一种工具，可以同时测量等离子体源的大小和它发出的光的颜色。"同时测量二者，使我们能够进一步改进光刻机，以实现更小、更快和更好的芯片"。这篇文章被《光学快报》作为编辑推荐重点推荐。
光刻机是制造几乎所有电子设备所需的微型芯片的核心设备。为了生产出最小的芯片，这些机器需要精密设计的透镜、反射镜和光源。"XUV 光学组助理教授 Muharrem Bayraktar 解释说："传统上，我们只能研究产生的光量，但为了进一步改进芯片制造工艺，我们还想研究光的颜色和光源的大小。
极紫外光由等离子光源发出，等离子光源是用激光对准金属液滴产生的。通过一组特殊的镜子，这些光被瞄准硅晶片，从而制造出可以想象的最小的微型芯片。"我们希望等离子体越小越好。太大就会'浪费'大量的光，因为镜子无法捕捉到所有的光，"拜拉克塔说。
除了尺寸，发射的颜色也很重要。"拜拉克塔说："等离子体不仅能发出极紫外光，还能发出其他颜色的光。有了这个新工具，研究人员就可以同时观测大小和颜色。这样就可以研究等离子体光源的大小与其发出的光的颜色之间的关系。
对于这种新工具，研究人员使用了锥形区板和透射光栅的组合。两者都是在 MESA+ 生产的。锥形区板是一种专门的光学元件，可以操纵极紫外光，对等离子源进行精确成像。透射光栅可将光线分散成不同的颜色，从而可以对其进行单独测量。
参考资料
Yahia Mostafa et al, Extreme ultraviolet broadband imaging spectrometer using dispersion-matched zone plates, Optics Letters (2023). DOI: 10.1364/OL.496995
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