我们相信，通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术，并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合，新创建的Giganex也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新，作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的，并且是为较大限度的通用性而设计的，因此可以预期它是高度可靠的。此外，它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点，并有望实现更适合激光退火的设计。

我们相信，通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术，并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合而新创建的Giganex，也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新，作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的，并且是为较大限度的通用性而设计的，因此可以预期它是高度可靠的。此外，它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点，有望实现更适合激光退火的设计。

在X射线中可视化和测量光束的目标具有新的重要性。Star Tech Instruments开发了新的系统来分析这些光束的功率/能量、均匀性、高分辨率光束轮廓和图像分析。型号µBIP10X是一款真空兼容（1x10-10 Torr）光束轮廓仪和光束成像系统，设计用于1-10 nm的高分辨率。该系统适用于200nm。10倍MAG。1.5 mm的场具有0.6µm的分辨率，并且对非常低的能级敏感。该系统设计用于1.3 X 1.3传感器，但可以针对其他相机格式进行修改。可根据要求提供不同的放大倍率和相机。μBIP系列是STI较新的成像系统，专为使用软X射线而设计-#91；1-2 nm-#93；不应将其用于准分子激光器的较长波长，如193nm或248nm，这将导致严重的内部损伤。较重要的是，该系统设计用于高真空室，使用我们的定制真空法兰组件将光学系统连接到真空室。法兰的额定压力为10-8托。

石英波片/延迟器-多阶材料：石英单晶使用波长范围：193nm~2000nm延迟量：λ/4λ/2（λ/8等数值）延迟容限：λ/200λ/500（特定波长）尺寸：2mm-50mm平行度：1弧秒表面质量：10-5刮挖典型吸收：可忽略损伤阈值，脉冲@1064nm，10-20 ns：10J/cm²损伤阈值，CW@VIS–NIR：10 MW/cm²

材质：石英单晶使用波长范围：193nm~2000nm延迟量：λ/4λ/2（λ/8等数值）延迟容限：λ/200-λ/500（特定波长）尺寸：2毫米-50毫米平行度：1弧秒表面质量：10-5刮挖典型吸收：可忽略损伤阈值，脉冲@1064nm，10-20ns：10J/cm²损伤阈值，CW@VIS–NIR：1 MW/cm²孔径上的延迟均匀性（典型25毫米）：λ/500延迟精度：λ/300每°C延迟的温度依赖性：可忽略不计

具有电介质涂层的部分反射镜可以在标准基础上制造，用于从193nm到5μm的波长范围。入射角为0°使其成为输出耦合器；入射角45使其成为分束器。也可以产生附加的入射角。

当需要反射非常大量的光时，使用高反射镜，有时称为激光反射镜。它们通常在99.0%至99.995%之间反射，散射低至50ppm。入射角和中心波长可以在0到70度之间和193nm到3000nm之间进行优化。这种类型的涂层通常不能提供宽范围的性能。我们较常生产的设计是248nm和308nm，0度和45度入射角，以及所有其他主要激光线。

掺钛蓝宝石（Ti3+：Sapphire）作为一种光泵浦的固体激光晶体，被广泛应用于波长可调谐激光器中，其调谐范围为650-1100nm，峰值波长为800nm，是目前波长较宽的可调谐激光晶体之一。钛宝石的高能态寿命仅为3.2ms，饱和功率很高，很难用灯、氩离子激光器或倍频Nd：YAG激光器等来泵浦。通常是适应的。利用自锁模技术，钛宝石激光器可以直接输出脉宽为6.5fs的激光脉冲，这是所有直接从谐振腔输出的激光脉冲中较窄的。通过倍频技术，激光束的波长可以覆盖从蓝光到深紫外的宽波段，产生的193nm激光已用于光刻机。

掺钛蓝宝石（Ti3+：Sapphire）作为一种光泵浦的固体激光晶体，被广泛应用于波长可调谐激光器中，其调谐范围为650-1100nm，峰值波长为800nm，是目前波长较宽的可调谐激光晶体之一。钛宝石的高能态寿命很短，只有3.2ms，由于饱和功率很高，很难用灯、氩离子激光器或倍频Nd：YAG激光器等来泵浦。通常是适应的。利用自锁模技术，钛宝石激光器可以直接输出脉宽为6.5fs的激光脉冲，这是所有直接从谐振腔输出的激光脉冲中较窄的。通过倍频技术，激光束的波长可以覆盖从蓝光到深紫外的宽波段，产生的193nm激光已用于光刻机。

Medway Optics的产品提供多种涂层选择，以修改材料的透射和反射特性，以适应从红外到深紫外（193nm）的特定应用。这些范围从反射率≤0.2%（对于单波长/激光线）的多个标准涂层到UV-IR中的双波段波长；3-5um和8-12um的热成像涂层、硬类金刚石涂层（DLC）、分束器涂层和偏振涂层。它们能够根据客户要求在基材上进行复杂和苛刻的定制涂层。我们的高反射率反射镜根据基材和应用波长提供≥99.8%的效率，并根据客户规格提供部分反射器。这些包括多层介电涂层、单层和多层金属涂层。

Xiton Photonics Ixion-193是一款单频全固态193nm激光器，用于光学计量等应用。Ixion-193-SLM的中心波长可以在190和194nm之间以0.01nm的精度选择。光谱带宽接近理论傅里叶极限，这使得Ixion-193-SLM可用于193nm步进光学器件的校准或高功率ARF准分子激光器的带宽控制。

来自Coherent Inc.的COMPEX 102是具有波长193nm、248nm、308nm、351nm、功率4至8W、输出功率（脉冲）4至8W、脉冲能量200至400mJ的激光器。Compex 102的更多细节可以在下面看到。

来自Coherent Inc.的COMPEX 110是波长为193nm、248nm、308nm、351nm，功率为12至30W，输出功率（脉冲）为12至30W，脉冲能量为200至400mJ的激光器。Compex 110的更多细节可以在下面看到。

来自Coherent Inc.的COMPEX 201是波长为193nm、248nm、308nm、351nm，功率为3至7.5W，输出功率（脉冲）为3至7.5W，脉冲能量为300至750mJ的激光器。Compex 201的更多细节可以在下面看到。

来自Coherent Inc.的COMPEX 205是具有波长193nm、248nm、308nm、351nm、功率15至33W、输出功率（脉冲）15至33W、脉冲能量300至750mJ的激光器。Compex 205的更多细节可以在下面看到。

来自Coherent Inc.的Compex 50 FBG是波长为193nm、248nm、308nm、351nm的激光器，功率为3至33W，输出功率（脉冲）为3至33W，脉冲能量为140mJ.Compex 50 FBG的更多详情请见下文。

来自Coherent Inc.的COMPEX 50是具有波长193nm、248nm、308nm、351nm、功率4至7W、输出功率（脉冲）4至7W、脉冲能量100至150mJ的激光器。Compex 50的更多细节可以在下面看到。

来自Coherent Inc.的COMPEX系列是波长为193nm、248nm、308nm、351nm的激光器，功率为12W，输出功率（脉冲）为12W，脉冲能量为100至750mJ.有关COMPEX系列的更多详细信息，请联系我们。

来自Coherent Inc.的IndyStar 193 1kHz是波长为193nm、功率为8W、输出功率（脉冲）为8W、脉冲能量为8mJ的激光器。有关IndyStar 193 1 kHz的更多详细信息，请联系我们。

来自Coherent Inc.的IndyStar 193 2kHz是波长为193nm、功率为8W、输出功率（脉冲）为8W、脉冲能量为4mJ的激光器。有关IndyStar 193 2 kHz的更多详细信息，请联系我们。