Accufiz Fizeau干涉仪提供无与伦比的性能、质量和价值组合，用于精确、可重复测量表面形状和透射波前质量。Accufiz激光干涉仪非常容易在有限的实验室空间中使用。紧凑、轻便的设计具有极高的刚性，可在任何方向或环境中实现较大的稳定性。波长范围为355 nm至1.064µm，孔径范围为33至800 mm，采用水平和垂直安装配置，为各种应用和预算提供了合适的选择。可选的600万像素高分辨率相机可捕捉任何商用干涉仪的较高斜率。测量非球面、自由曲面光学元件和高度像差元件。可选的表面隔离源（SIS）增加了测量平面平行光学器件的能力，无需涂层或背面处理以消除不必要的反射。在薄至300µm的光学器件上量化形状光学厚度、透射波前误差和均匀性。

工业和研究中的许多应用需要高精度的同步位移和角度测量。快速设置和轻松调整尤为重要。三光束激光干涉仪是将三个干涉仪组合在一个设备中的精密长度测量设备。在所有三个测量通道中使用相同的高度稳定的激光频率。因此，可以以亚纳米精度同时测量三个长度值。根据两个长度值之间的差和校准的光束距离，可以高精度地确定相应的角度。该系统采用模块化设计，因此可适用于各种测量任务。干涉仪的测量范围超过5米，具有亚纳米分辨率。对于使用反射器的测量，角度测量范围可达±12.5°。

微型移相激光干涉仪

通常，基于多棱镜扩束和数字检测，狭缝干涉仪允许透射光学表面的快速干涉测量表征。与传统的逐点非相干显微密度计和逐点非相干显微镜相比，这是一个显著的进步。

通常，基于多棱镜扩束和数字检测，狭缝干涉仪允许透射光学表面的快速干涉测量表征。与传统的逐点非相干显微密度计和逐点非相干显微镜相比，这是一个显著的进步。

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与传统的Fizeau仪器相比，Twyman-Green配置干涉仪具有几个重要的优势：振动不敏感测量可在具有挑战性的环境中使用，如Cryo-Vac测试或长测量路径。设计可以非常紧凑，可在狭小空间或难以接近的位置使用。轴上设计可提供出色的精度，尤其是在测量球形元件时。测试和参考之间的功率比以无损方式调整。PhaseCam动态Twyman-Green激光干涉仪可提供高分辨率测量，即使振动和空气湍流Dynamic Interferometry®使PhaseCams能够在30微秒内捕获完整的波前测量结果，比传统的相移干涉仪快5000倍。PhaseCams结构紧凑，重量轻，使重新配置测试设置变得简单和容易，无需振动隔离。PhaseCam激光干涉仪非常适合大直径光学元件的计量、生产车间质量控制、通常受气流湍流阻碍的洁净室应用、远程操作必不可少的环境室以及移动部件（如可变形反射镜、旋转磁盘或振动膜）的模态分析。

L01是皮级激光干涉仪的传感头。目标光束用柱面透镜仅沿一个轴聚焦，从而产生线聚焦。这样，传感器头沿着聚焦轴具有相对大的角度工作范围，同时沿着正交轴具有大的直径。通常，这些传感器头用于测量旋转圆柱形物体的偏心运动，并且对其摆动（即旋转轴的倾斜/倾斜）不敏感。

Amada Miyachi America为各种激光微加工应用提供广泛的激光源和系统平台，包括聚合物钻孔、陶瓷加工和切割锂离子电池电极。我们的内部应用实验室配备了飞秒、皮秒和纳秒激光源，以确保选择较适合应用的激光。这种特定的应用知识和技术诀窍构成了系统配置的基础，所有关键工艺特征都被理解并应用于较终解决方案中。Sigma超短脉冲激光微加工系统支持多种应用，包括激光钻孔、激光烧蚀和激光微切割。该系统可配置用于任何具有单波长或多波长光路的皮秒或飞秒激光器，具有多达4个线性和直接驱动台和数字扫描头，标准平台支持300x300mm XY平台。Sigma超短脉冲激光微加工系统旨在实现并保持高尺寸精度特性。作为综合系统质量保证测试的一部分，每个系统都使用我们的内部激光干涉仪进行测试。其他视觉选项可用于确保激光束位置和部件放置精度。

普惠测量系统公司（Pratt&Whitney Measurement Systems）的LMS200是一种激光干涉仪，通过将测量探头位置与632.8nm红色氦氖激光光源的波长进行比较来测量内部和外部尺寸。该专利激光路径与测量轴一致，消除了阿贝误差。它有一个花岗岩底座，其热膨胀系数比钢小十倍以上，使该干涉仪成为高度稳定的测量源。该干涉仪的精度为0.05+0.5Lµm，重复性为0.04µm.它的测量范围高达200 mm，直接读数范围为200 mm.LMS200干涉仪有一个碳化钨平板（1/10波）测量探头，带有Ø0.25金刚石尖端。探头是电动和远程控制的，以提高系统稳定性并消除操作员的影响。它可以测量最大尺寸为293 X 203 mm的样品，并具有14克的探针接触力。该干涉仪具有两步校准功能，这是一种先进的省时功能，允许使用两个实验室级别的可追踪量块进行校准，从开始到结束仅需30秒。它可以在直接读取或比较器模式下工作，并具有可编程自动循环功能，支持用户定义的恒定吞吐速率。该干涉仪根据命令存储所有测量结果的总和，并可显示统计数据，指示计算的平均值和一个标准偏差。LMS200需要110/120至220/240 V的交流电源，并消耗1-2 A的电流。它采用尺寸为56 X 41 X 79 cm的封装，非常适合测量球/球体、磁带/磁盘基板、光学元件、聚乙烯薄膜、量块/滑规、涂层厚度标准、塞规和销规、丝线、薄膜厚度、量块堆叠、网格厚度、纺织品和精密零件。