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波长: 1064nm 重复频率: 1MHz 输出功率: 10W 脉冲持续时间: 15000fs
NPI'的刀锋系列超快光纤激光器是工业级超快激光器,具有高稳定性和高可靠性。单脉冲能量高达50μJ,脉冲宽度为15ps。它是超快精密微细加工中较常用的激光光源。刀锋系列超快光纤激光器主要应用于3C产品、手机面板、OLED元器件的微电子加工,半导体晶圆划片,不锈钢、玻璃、蓝宝石、陶瓷等金属和硬脆性材料的切割和钻孔。与其他长脉冲激光(如纳秒激光)或连续激光的热加工不同,当超快激光的脉冲宽度足够短(15ps)时,对材料的影响将跨越热加工阶段进入冷加工阶段。热量在扩散到微加工区域之前就会消失,可以避免重铸、微裂纹和熔融颗粒飞溅。这确保了材料的物理和化学性质在加工边缘区域的微加工过程中不受影响。
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能量范围: 1 - 2000 eV 最大光束电流: 0.01uA 最小横梁尺寸: 500um
Kimball Physics ELG-2电子枪及其配套的EGPS-1022电源旨在用于电子受激脱附研究、二次电子发射系数测量研究、表面物理和其他真空物理研究。它是一个完整的子系统,可以随时连接和打开。射束能量、射束电流和光斑尺寸可在宽范围内独立调节。能量从1eV到2000eV是可变的,包括低范围以在较低能量下改进分辨率。通过使用多级和计算机设计的电子变焦透镜,在两个数量级的能量变化上保持恒定的束流,并且光斑尺寸也大致恒定。在2 cm工作距离和10 eV的条件下,该电子枪可以将1μA电流传输到大约1 mm的光斑中。电子枪使用单电位耐火阴极来产生低能量扩散的电子束。特高压技术贯穿始终。对于标准Ta圆盘阴极,电子枪可以在10-11托到10-5托的真空中运行。拆下电缆后,电子枪可烘烤至350°C。
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能量范围: 5 - 1000 eV 最大光束电流: 0.4uA 最小横梁尺寸: 2000um
Kimball Physics FRA-2X1-2电子枪及其匹配的EGPS-1011电源旨在用于各种UHV、表面物理、电荷中和和处理应用。它是一个完整的子系统,可随时连接到用户的真空系统并打开。束能量和束电流都可在宽范围内调节。FRA-2X1-2电子枪使用难熔金属阴极来产生均匀的泛光电子束。阴极是专门为低能量扩散而设计的。电子枪的设计允许产生低能量和极低电流的电子束。FRA-2x1-2可以在低至5eV的能量下产生适度的束流。它可以在5 eV和1000 eV时分别提供50μA和400μA的较大束流。FRA-2X1-2低能电子泛光枪采用平面三极管设计。加速栅在低能量下增强束流。由于施加到栅极的正电势(相对于阴极为0至+100V),可能在该栅极产生的二次电子不能离开电子枪。FRA-2x1-2电子枪在设计上增强了低能量下的泛光枪性能,在50eV下的半角发散度为11.5度。随着光束能量的增加,发散度降低。较大的斑点在低能量下可实现,但在较高能量下不一定可实现。