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SD1024G专为要求苛刻的半导体工艺应用而设计。其光学系统采用专为多通道光谱学设计的1024元件科学级CCD阵列,以适中的成本提供高性能。SD1024G的优点包括出色的紫外线(UV)响应(低至200nm)、在紫外线照射下的稳定性、高灵敏度、宽动态范围和出色的输出线性度。独特的光学平台导致在二维检测器阵列的图像平面处的光谱信息的高效成像。
Semilab 提供的 SE-2000 是一种独有的模块化光学平台,配备有旋转补偿器光学元件的分光椭偏仪。它可以对单层和多层样品以及基片进行非接触式和非破坏性光学测量,从而获得单独的薄膜厚度和光学特性。